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    [讨论]离子源充氧与充氩有何分别？ [复制链接]

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    离线wangxingyu
    技术员
     
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    只看楼主 正序阅读 楼主  发表于: 2007-04-15
    离子源充氧与充氩有何分别？
     
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    离线李某
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    只看该作者 20楼 发表于: 2023-12-17
    受教了 iQI$Y]Y7  
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    离线yedewang
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    只看该作者 19楼 发表于: 2018-05-08
    非常有用
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    离线dcfcwdx
    实习生
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    只看该作者 18楼 发表于: 2018-03-03
    受教了
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    离线pyykun
    助理工程师
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    只看该作者 17楼 发表于: 2018-02-27
    谢谢大神们！！！
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    离线爱哭的云彩
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    只看该作者 16楼 发表于: 2017-08-09
    回 a060103112 的帖子
    a060103112:氟化镁一般不用离子源，只有偶尔冷镀用，就只加少量氩气 (2013-02-27 11:32)  N#;k;Z'iL  
    8+&] q#W3  
    原来是这样呀
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    离线爱哭的云彩
    技术员
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    只看该作者 15楼 发表于: 2017-08-09
    回 j123456789 的帖子
    j123456789:离子源充氧后会产生氧原子和氧离子，它们具有极其强的活性，作为氧化物膜沉积时的辅助，不仅能提高膜层的密度，还能改善其吸收！但，其会降低离子源的寿命！！充氩仅能提高膜层的密度，同时离子源的寿命会相对长！ (2007-04-15 15:49)  [R j=k)aBm  
    D"F5-s7  
    好有用
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    离线a060103112
    实习生
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    只看该作者 14楼 发表于: 2013-02-27
    回 jiayuch 的帖子
    jiayuch:如果镀得是氟化镁  就用氩气吗 (2007-04-22 16:21)  M cE$=Vv  
    ="3Hc=1?R  
    氟化镁一般不用离子源，只有偶尔冷镀用，就只加少量氩气
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    离线ken_jinyan1
    技术员
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    只看该作者 13楼 发表于: 2013-02-19
    但是厂家的工程师和我说MGF2不能用离子源，不知道原因。 ROr$ Sz  
    如果不能用的话，还怎么冷镀膜呢？
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    离线flyinlove79
    论坛版主
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    只看该作者 12楼 发表于: 2013-02-02
    热心助人，鼓励！
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