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[讨论]离子源充氧与充氩有何分别？ [复制链接]

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离线ken_jinyan1

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只看该作者 10楼发表于: 2013-01-28

我们公司的GENER1300 配的是霍尔的离子源。厂家调试的时候用的是O2，
说的是氧气和氩气都是一样的。氧气流量50，氩气流量30SCCM，我想问一下
离子源对膜料折射率是否有影响。

离线alex_xie

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只看该作者 11楼发表于: 2013-01-30

使用氩气，镀出来的膜层致密性会好一点，可以氧气氩气一起用

离线flyinlove79

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只看该作者 12楼发表于: 2013-02-02

热心助人，鼓励！

离线ken_jinyan1

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只看该作者 13楼发表于: 2013-02-19

但是厂家的工程师和我说MGF2不能用离子源，不知道原因。
如果不能用的话，还怎么冷镀膜呢？

离线a060103112

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只看该作者 14楼发表于: 2013-02-27

回 jiayuch 的帖子

jiayuch:如果镀得是氟化镁就用氩气吗 (2007-04-22 16:21) E-_Q3^

氟化镁一般不用离子源，只有偶尔冷镀用，就只加少量氩气

离线爱哭的云彩

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只看该作者 15楼发表于: 2017-08-09

回 j123456789 的帖子

j123456789:离子源充氧后会产生氧原子和氧离子，它们具有极其强的活性，作为氧化物膜沉积时的辅助，不仅能提高膜层的密度，还能改善其吸收！但，其会降低离子源的寿命！！充氩仅能提高膜层的密度，同时离子源的寿命会相对长！ (2007-04-15 15:49) =l_B58wrx

好有用

离线爱哭的云彩

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只看该作者 16楼发表于: 2017-08-09

回 a060103112 的帖子

a060103112:氟化镁一般不用离子源，只有偶尔冷镀用，就只加少量氩气 (2013-02-27 11:32) 6Z09)}tZb

原来是这样呀

离线pyykun

助理工程师

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只看该作者 17楼发表于: 2018-02-27

谢谢大神们！！！

离线dcfcwdx

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只看该作者 18楼发表于: 2018-03-03

受教了

离线yedewang

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只看该作者 19楼发表于: 2018-05-08

非常有用