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摘要 w$1.h'2 [qc90)^Q, 光栅的衍射效率分析是光栅的典型建模任务。效率可由瑞利系数计算得到,对于光栅的每个衍射阶次都给出了这两个量。VirtualLab Fusion可通过全矢量的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)来计算效率和瑞利系数。借助光栅阶次分析器,可以以各种方式显示不同阶次的效率和瑞利系数。 FJ/kumq zg]9~i8
R5Ti|k.~Y" Bdf3@sbM] 光栅详细说明 a&j
H9 gq/q]Fm\
Xod#$'M> 'Kl} y, •为了演示一维光栅的光栅分析器,我们使用带HR涂层的正弦光栅。 /|Zk$q.\ •可以在堆栈中指定光栅参数,并且在光栅组件的编辑对话框中访问该参数。 Dzb@H$BQ7 w}+jfO9 光栅阶次分析器设置 ~Xa >; 233jT@Z •定义光栅结构后,可以配置光栅阶次分析器。 |ML|P\1&V •可以指定各种输出选项。 hX8;G!/ •可以在光学设置视图中双击它的元件打开分析器的编辑对话框。 eR?`o !@y "H6DiPh.E
iielAj*b h%Bp%Y9 常规设置 fAXF_wj ``U>9S"p)
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u`7\o~$ •在“常规”选项卡中,可以选择是否分析透射率和/或反射率。 h
~v8Q_6 •另外,可以指定是否要评估透射、吸收和反射的总和,以及是否要显示极坐标图。 uPt({H z" 4$mh 单个阶次设置 PU[]
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:D;BA \vsfY •在“单个阶次”选项卡中,可以选择是否记录单个阶次的信息。 uK1DC i •如果想使用VirtualLab Fusion的参数运行或参数优化来分析和优化特定阶次的光栅,则此选项非常有用。 wm_xH_{F rdSkGb 单个阶次设置 "cj6i{x,~w ??)IPRv?yF PIl:z?q({ ZDMS:w.'T
;X*I,g.+H RX \%R 探测器标签页中的输出 OjFB_
N =wtu
^|gD;OED7O .7_<0&kW |