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摘要 kyR:[+je SE@LYeC}dE 光栅的衍射效率分析是光栅的典型建模任务。效率可由瑞利系数计算得到,对于光栅的每个衍射阶次都给出了这两个量。VirtualLab Fusion可通过全矢量的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)来计算效率和瑞利系数。借助光栅阶次分析器,可以以各种方式显示不同阶次的效率和瑞利系数。 Z3"%`*Tmq- `x+ B+)0X
%".HaI] >,V9H$n 光栅详细说明 o5Dk:Bw N({MPO9
a#cCpE u@Ih GME •为了演示一维光栅的光栅分析器,我们使用带HR涂层的正弦光栅。 dP9qSwTa •可以在堆栈中指定光栅参数,并且在光栅组件的编辑对话框中访问该参数。 L*Tj^q!t+ 6KXtcXQ 光栅阶次分析器设置 5kc/Y/4o ~qiJR`Jj •定义光栅结构后,可以配置光栅阶次分析器。 ity & v9 •可以指定各种输出选项。 ,Xu-@br{ •可以在光学设置视图中双击它的元件打开分析器的编辑对话框。 .[]r}[ lU Go5J%&E9
[^WC lRF m|SUV 常规设置 wcrCEX=I>{ ,;EIh}
(!ux+K wT6"U$cV •在“常规”选项卡中,可以选择是否分析透射率和/或反射率。 h{)kQLuzT •另外,可以指定是否要评估透射、吸收和反射的总和,以及是否要显示极坐标图。 v> LIvi|] ]FJjgu< |