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摘要 /7X:=~m UX=JWb_uGm 光栅的衍射效率分析是光栅的典型建模任务。效率可由瑞利系数计算得到,对于光栅的每个衍射阶次都给出了这两个量。VirtualLab Fusion可通过全矢量的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)来计算效率和瑞利系数。借助光栅阶次分析器,可以以各种方式显示不同阶次的效率和瑞利系数。 9|O#+_=+v 5S:#I5Wa
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;6^ lqe;lWC0Z 光栅详细说明 rgheq<B: aloP@U/\Sn
Pb=J4Lvz(d `WHP#z •为了演示一维光栅的光栅分析器,我们使用带HR涂层的正弦光栅。 ZiodJ"r •可以在堆栈中指定光栅参数,并且在光栅组件的编辑对话框中访问该参数。 :WejY`}H% t5n$sF 光栅阶次分析器设置 4;8
Z?. wYZFW'5p •定义光栅结构后,可以配置光栅阶次分析器。 :~BY[") •可以指定各种输出选项。 D 4^2F(YRX •可以在光学设置视图中双击它的元件打开分析器的编辑对话框。 MnUal}MO w$UWfL(
<T JUKznO bY7d 常规设置 Fn4i[|W42 q?'*T?|
,o\vumx O7b Tu<h= •在“常规”选项卡中,可以选择是否分析透射率和/或反射率。 O#fGHI<43[ •另外,可以指定是否要评估透射、吸收和反射的总和,以及是否要显示极坐标图。 WP7*Q:5 S{aK\>>H 单个阶次设置 GQO}E@W6C !]7r>NS>
D U#6%8~ VqLqj$P •在“单个阶次”选项卡中,可以选择是否记录单个阶次的信息。 U#R=y:O? •如果想使用VirtualLab Fusion的参数运行或参数优化来分析和优化特定阶次的光栅,则此选项非常有用。 k2muHKBlk FS30RP3
`/ 单个阶次设置 _c?&G` yU3fM?a P#bZtWx'<N 0t?:
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