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作为衍射光学领域广泛使用的方法，薄元近似（TEA）在计算薄衍射元件的衍射效率时非常有效。 但在另一方面，当衍射光栅的周期小到可以与波长相比较时，这种近似将会变得不准确。 我们选择了两种常用的透射光栅轮廓（正弦和闪耀），并应用TEA和严格的FMM / RCWA进行分析，用来比较两种方法的结果。 I^"ou M9}Q -F=?M+9[ 用于光栅建模的TEA与FMM c' cK+32
_DsA<SJ]
 T I4#A E 我们同时使用TEA和FMM（也称为RCWA）来分析两种周期不同的光栅（正弦光栅和闪耀光栅），并比较了两种方法的结果。 ~!UC:&UKo `G*7y7 闪耀光栅的傅里叶模态分析 (5-
w>(
]&6# {I-
 XN9s!5A<L) 在VirtualLab Fusion中，傅里叶模态方法（FMM）可用于光栅效率的严格分析。 :5Vk+s]8
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