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作为衍射光学领域广泛使用的方法，薄元近似（TEA）在计算薄衍射元件的衍射效率时非常有效。 但在另一方面，当衍射光栅的周期小到可以与波长相比较时，这种近似将会变得不准确。 我们选择了两种常用的透射光栅轮廓（正弦和闪耀），并应用TEA和严格的FMM / RCWA进行分析，用来比较两种方法的结果。 6*2z^P9FRj ~3 z 10IG 用于光栅建模的TEA与FMM yN~: 3
p,9eZUGy
 GVp2| \-L 我们同时使用TEA和FMM（也称为RCWA）来分析两种周期不同的光栅（正弦光栅和闪耀光栅），并比较了两种方法的结果。 `795 K8 5ff6 6CRw 闪耀光栅的傅里叶模态分析 ;dYpdy
S\jN:o#b
 x3my8'h@ 在VirtualLab Fusion中，傅里叶模态方法（FMM）可用于光栅效率的严格分析。 =lG5Kc{B
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