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作为衍射光学领域广泛使用的方法，薄元近似（TEA）在计算薄衍射元件的衍射效率时非常有效。 但在另一方面，当衍射光栅的周期小到可以与波长相比较时，这种近似将会变得不准确。 我们选择了两种常用的透射光栅轮廓（正弦和闪耀），并应用TEA和严格的FMM / RCWA进行分析，用来比较两种方法的结果。 -Dw qoWZ o<f[K }t9 用于光栅建模的TEA与FMM L1 "y5HJ
(`}O!;/E}
 e-;$Iv 我们同时使用TEA和FMM（也称为RCWA）来分析两种周期不同的光栅（正弦光栅和闪耀光栅），并比较了两种方法的结果。 @,i_
KN6C /esSM~*H 闪耀光栅的傅里叶模态分析 {s} @$rW
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 *S.R#4w 在VirtualLab Fusion中，傅里叶模态方法（FMM）可用于光栅效率的严格分析。 MR$Bl"d
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