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摘要 PiIpnoM u|TeE\0 斐索干涉仪是工业中常见的光学计量设备,它们通常用于光学表面质量的高精度测试。 借助VirtualLab Fusion中的非顺序追迹,我们构建了一个菲索干涉仪,并利用它测试了不同的光学表面,例如圆柱形和球形。 可以看出,产生的干涉条纹对表面轮廓具有敏感性。 l<LI7Z]A g|yvF-+
'Aq{UGN pJ"qu,w 建模任务 ] 72`}; [EXs Ckuh:bs 6j]0R*B7`Q 倾斜平面下的观测条纹 k"iOB-@B+ >uhaW@d
<)c)%'v Fj3a.' 圆柱面下的观测条纹 )U:m:cr< l4YJ c !ons]^km k2tF} 球面下的观测条纹
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