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摘要 xK *b1CB <GS^ 斐索干涉仪是工业中常见的光学计量设备,它们通常用于光学表面质量的高精度测试。 借助VirtualLab Fusion中的非顺序追迹,我们构建了一个菲索干涉仪,并利用它测试了不同的光学表面,例如圆柱形和球形。 可以看出,产生的干涉条纹对表面轮廓具有敏感性。
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)Kc<j!8-[ m|SUV 圆柱面下的观测条纹 wcrCEX=I>{ tURu0`]( l.67++_ \r/rBa\ 球面下的观测条纹 3@etRd;]Kr #{\J
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