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摘要 8;K'77h I!>pHF4 斐索干涉仪是工业中常见的光学计量设备,它们通常用于光学表面质量的高精度测试。 借助VirtualLab Fusion中的非顺序追迹,我们构建了一个菲索干涉仪,并利用它测试了不同的光学表面,例如圆柱形和球形。 可以看出,产生的干涉条纹对表面轮廓具有敏感性。 C +S C ioM!D
04g=bJ r#hA kOw 建模任务 W:
R2e2 vncLB&@7 "I+71Ce &v9*D`7L 倾斜平面下的观测条纹 m%au* 0p :j feY
K,_d/(T4 EAafi<n 圆柱面下的观测条纹 6?\X)qBI xNDX(_U>\ |uL"/cMW7 K@d, 8 [ 球面下的观测条纹 {}x{OP s.y wp{EF 9?W!E_ vk;]9o j* VirtualLab Fusion 视窗 J;@g#h? {Aq2}sRl{ c*R?eLt/ VirtualLab Fusion 流程 ROH 2KSt uRIa
Nwohv 5}-e9U 设置入射场 MYI*0o; luLt~A3H$ - 基本光源模型[教程视频] =XAFW 定义元件的位置和方向 jiAKV0lX
W !.\- l2f - LPD II: 位置和方向[教程视频] #>)OLKP 正确设置通道的非序列追迹 LYM(eK5V ;F3#AO4( - 非序列追迹的通道设置[用户案例] @o otKY`
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