*Xd_=@L&B 内容简介
dk2o>jI4; Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了
软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前
薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的
光学薄膜设计技术》。
B?_ujH80m 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。
PiIILX{DuH 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。
4>@-1nt} Mq,_DQ 讯技科技股份有限公司
2015年9月3日
>l5JwwG 目录
]cI(||x Preface 1
M,UYDZ', 内容简介 2
GgjBLe=C 目录 i
gClDVO 1 引言 1
8%9OB5?F6 2 光学薄膜基础 2
K#p&XIY, 2.1 一般规则 2
'w7{8^Z2 2.2 正交入射规则 3
zphStiwIQ 2.3 斜入射规则 6
k)USLA 2.4 精确计算 7
cl-i6[F 2.5 相干性 8
S[M\com' 2.6 参考文献 10
ihhnB 3 Essential Macleod的快速预览 10
L9U<E $%# 4 Essential Macleod的特点 32
Ljxn}):[ 4.1 容量和局限性 33
X]*W + 4.2 程序在哪里? 33
P6 G/J- 4.3 数据文件 35
-nT+!3A8 4.4 设计规则 35
2jx+q 4.5 材料数据库和
资料库 37
zR3Z(^]v 4.5.1材料损失 38
O"9f^y* 4.5.1材料数据库和导入材料 39
,K6]Q|U@r 4.5.2 材料库 41
Y<.F/iaH 4.5.3导出材料数据 43
c#;LH5KI 4.6 常用单位 43
BmUzsfD 4.7 插值和外推法 46
M !OI :v 4.8 材料数据的平滑 50
\>/:@4oK 4.9 更多光学常数模型 54
Sb[rSczS~ 4.10 文档的一般编辑规则 55
RN:#+S(8 4.11 撤销和重做 56
U>x2'B v 4.12 设计文档 57
z_l3=7R 4.10.1 公式 58
z(orA} [ 4.10.2 更多关于膜层厚度 59
A?|cJ"N 4.10.3 沉积密度 59
HNuwq\w 4.10.4 平行和楔形介质 60
qc'tK6=jp 4.10.5 渐变折射率和散射层 60
KwQO,($,] 4.10.4 性能 61
|2 wff? 4.10.5 保存设计和性能 64
<CmsnX 4.10.6 默认设计 64
8h20*@wSN 4.11 图表 64
_zmx 4.11.1 合并曲线图 67
O\KAvoQ%s 4.11.2 自适应绘制 68
FvI`S> 4.11.3 动态绘图 68
lE|T'?/ 4.11.4 3D绘图 69
BK d( 4.12 导入和导出 73
mQs'2Y6Oa 4.12.1 剪贴板 73
fZ g*@RR 4.12.2 不通过剪贴板导入 76
BtHvfoT 4.12.3 不通过剪贴板导出 76
e<^4F%jSK 4.13 背景 77
T*T.\b 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80
x(7K3(#| 4.15 生成Rugate 84
r&3fSx9 4.16 参考文献 91
<7]
z'
5 在Essential Macleod中建立一个Job 92
}lb.3fqiA 5.1 Jobs 92
V!<#E)-?< 5.2 创建一个新Job(工作) 93
My`%gP~%g 5.3 输入材料 94
YKc{P"'/| 5.4 设计数据文件夹 95
eu:_V+ 5.5 默认设计 95
N~ozyIP, 6 细化和合成 97
!3&vgvr 6.1 优化介绍 97
!yI)3;$* 6.2 细化 (Refinement) 98
GKd>AP_ 6.3 合成 (Synthesis) 100
`(a^=e5 6.4 目标和评价函数 101
^ KjqS\< 6.4.1 目标输入 102
G<dXJ ]\\ 6.4.2 目标 103
sk3;;<H 6.4.3 特殊的评价函数 104
!aEp88u 6.5 层锁定和连接 104
1a!h&!$9 6.6 细化技术 104
7=AKQ7BB>b 6.6.1 单纯形 105
uU\iji\ 6.6.1.1 单纯形
参数 106
?3Fo:Z`@F 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107
>PJ-Z~O'
6.6.2.1 Optimac参数 108
,/ : )FV 6.6.3 模拟退火算法 109
2Ls<OO 6.6.3.1
模拟退火参数 109
A{o{o++ 6.6.4 共轭梯度 111
-/qrEKQ0U? 6.6.4.1 共轭梯度参数 111
'~cEdGD9H 6.6.5 拟牛顿法 112
HY:@=%R 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112
g0U
?s 6.6.6 针合成 113
TatyD**( 6.6.6.1 针合成参数 114
I(CI')Q 6.6.7 差分进化 114
~GeYB6F 6.6.8非局部细化 115
D?'y)]( 6.6.8.1非局部细化参数 115
NE4fQi?3 6.7 我应该使用哪种技术? 116
2yZ6:U~ 6.7.1 细化 116
bcs!4 6.7.2 合成 117
?f`-&c; 6.8 参考文献 117
aS7zG2R4H 7 导纳图及其他工具 118
:jX~]1hpmA 7.1 简介 118
=KZ4:d5 7.2 薄膜作为导纳的变换 118
hF 1/=;> 7.2.1 四分之一
波长规则 119
80EY7#r@w 7.2.2 导纳图 120
dW`D?$(@, 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124
0R]CI 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125
%ze1ZWO{ 7.5 斜入射导纳图 141
|@ HdTGD 7.6 对称周期 141
aVYUk7_ < 7.7 参考文献 142
<X |h* 8 典型的镀膜实例 143
dL`
+^E> 8.1 单层抗反射薄膜 145
dmy-}.pqN 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146
0)]1)z(P 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147
2~DPq p[ 8.4 W-膜层 148
(r4VIlap 8.5 V-膜层 149
`RcNqPY#S 8.6 V-膜层高折射基底 150
$hQg+nY. 8.7 V-膜层高折射率基底b 151
5uer
[1A 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152
72zuI4& 8.9 四层抗反射薄膜 153
+_dYfux 8.10 Reichert抗反射薄膜 154
0?xiG SZV 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155
@RIEO%S 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156
YMTA`T(+ 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157
NR&9:? 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158
=.hDf<U 8.15十五层宽带抗反射膜 159
=>
=x0gsgj 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161
d6EY'*0 8.17 1/4波长堆栈 162
i@Zj7#e* 8.18 陷波滤波器 163
h.;CL#s 8.19 厚度调制陷波滤波器 164
? myXG92 8.20 褶皱 165
7yTe]O 8.21 消偏振分光器1 169
~bTae =FP 8.22 消偏振分光器2 171
}GDG$QI]K& 8.23 消偏振立体分光器 172
F^z8+W 8.24 消偏振截止滤光片 173
NCFV 8.25 立体偏振分束器1 174
;
,<J:%s 8.26 立方偏振分束器2 177
S "Pj1 8.27 相位延迟器 178
{7>CA'> 8.28 红外截止器 179
O)uM&B= 8.29 21层长波带通滤波器 180
vqOLSE"t*O 8.30 49层长波带通滤波器 181
c/Yi0Rl) 8.31 55层短波带通滤波器 182
7$W;4!BN* 8.32 47 红外截止器 183
d$rUxqB. 8.33 宽带通滤波器 184
A9Wqz"[ 8.34 诱导透射滤波器 186
;Ph )BY< 8.35 诱导透射滤波器2 188
YB~t|m65 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190
%*c|[7Z~V 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192
,l .U^d6> 8.35 增益平坦滤波器 193
t} i97 ; 8.38 啁啾反射镜 1 196
{IHK<aW 8.39 啁啾反射镜2 198
"%Ana=cc 8.40 啁啾反射镜3 199
;sR6dT) 8.41 带保护层的铝膜层 200
8]":[s6x 8.42 增加铝反射率膜 201
kdh9ftm*\ 8.43 参考文献 202
?s)sPM? 9 多层膜 204
1bZiPG{ 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204
S<!_
u q 9.2 内部透过率 204
rHgdvDc 9.3 内部透射率数据 205
%Rep6=K*$ 9.4 实例 206
h+~df(S. 9.5 实例2 210
:n9xH 9.6 圆锥和带宽计算 212
,/`E|eG1G 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214
iEVA[xy=D 10 光学薄膜的颜色 216
pJIE@Q|hi 10.1 导言 216
Vt=(2d5:p 10.2 色彩 216
+^ DRto= 10.3 主波长和纯度 220
)_^WpyzF1 10.4 色相和纯度 221
~]W[ {3 ; 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222
Dbdzb m7 10.6 色差 226
cia-OVX 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227
Kq 4<l 10.8 颜色渲染指数 234
pl x/}ah8 10.9 色差计算 235
M2E87w 10.10 参考文献 236
$7n#\h 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238
CQjZAv
11.1 短脉冲 238
:{b6M/ 11.2 群速度 239
Sci4EGc 11.3 群速度色散 241
bV$8
>[` 11.4 啁啾(chirped) 245
Rw}2* 5#y 11.5 光学薄膜—相变 245
6{ +_T 11.6 群延迟和延迟色散 246
5Z6-R}uXk 11.7 色度色散 246
e(w/m(!Wny 11.8 色散补偿 249
]LBvYjMY 11.9 空间
光线偏移 256
qE`:b0FT 11.10 参考文献 258
|5~wwL@LW7 12 公差与误差 260
dmaqXsU8q 12.1 蒙特卡罗模型 260
?S@R~y0K 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267
S -6"f/ 12.2.1 误差工具 267
<F)w=_%& 12.2.2 灵敏度工具 271
)y`TymM[F 12.2.2.1 独立灵敏度 271
dT]L-uRZgy 12.2.2.2 灵敏度分布 275
Xvu) 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276
S@c\|
12.3 参考文献 276
i9;27tT~< 13 Runsheet 与Simulator 277
mC:X4l]5 13.1 原理介绍 277
p584)"[*t 13.2 截止滤光片设计 277
eyf4M;goz} 14 光学常数提取 289
lj EB 14.1 介绍 289
chO'Q+pw 14.2 电介质薄膜 289
'je8k7`VA 14.3 n 和k 的提取工具 295
?..i 4 14.4 基底的参数提取 302
eA1k)gjE 14.5 金属的参数提取 306
D(qHf9 14.6 不正确的模型 306
bk7^%O> 14.7 参考文献 311
f^!11/Wv 15 反演工程 313
q8?=*1g 15.1 随机性和
系统性 313
m)@Q_{=6M 15.2 常见的系统性问题 314
@1<omsl 15.3 单层膜 314
:'d76pM- 15.4 多层膜 314
6;
5)/ q 15.5 含义 319
,b6kTQq 15.6 反演工程实例 319
[_
M6/ 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320
gHi~nEH 15.6.2 反演工程提取折射率 327
'f-
16 应力、张力、温度和均匀性工具 329
M)"]$TM 16.1 光学性质的热致偏移 329
AZxrJ2G 16.2 应力工具 335
5;FP.{+ 16.3 均匀性误差 339
^91sl5c8yD 16.3.1 圆锥工具 339
TRgY :R_ 16.3.2 波前问题 341
N<aB)</ 16.4 参考文献 343
Gva}J6{ 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345
$R%+* 17.1 引言 345
#Rin*HL## 17.2 操作数 345
k40Ep(M} 18 如何在Function中编写脚本 351
BgJkrv7~ 18.1 简介 351
K08 iPIkQ 18.2 什么是脚本? 351
0rk u4T 18.3 Function中脚本和操作数对比 351
/rIm7FW) 18.4 基础 352
Job/@> ; 18.4.1 Classes(类别) 352
"H5&3sF2 18.4.2 对象 352
ATMc`z:5T 18.4.3 信息(Messages) 352
>"cr-LB 18.4.4 属性 352
09R,'QJ| 18.4.5 方法 353
M MAAHo 18.4.6 变量声明 353
DH\wDQ 18.5 创建对象 354
W
*YW6 18.5.1 创建对象函数 355
5R,la\!bQ 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355
f\h%; X 18.5.3 丢弃对象 356
A#Xj]^-* 18.5.4 总结 356
oy2(A g\ 18.6 脚本中的表格 357
T$H2'tK| 18.6.1 方法1 357
')C|`(hs 18.6.2 方法2 357
T?H\&2CLT 18.7 2D Plots in Scripts 358
4dW3'"R"L 18.8 3D Plots in Scripts 359
} c{Fa& 18.9 注释 360
`0yb?Nk `: 18.10 脚本管理器调用Scripts 360
R]CZw;zS_ 18.11 一个更高级的脚本 362
8W-]t1O%! 18.12 <esc>键 364
?N4A9W9 18.13 包含文件 365
&bB6}H( 18.14 脚本被
优化调用 366
\4OK!6LkI 18.15 脚本中的对话框 368
n<{aPLQ 18.15.1 介绍 368
-&trk 18.15.2 消息框-MsgBox 368
4$%`Qh>yA 18.15.3 输入框函数 370
S\B5&W 18.15.4 自定义对话框 371
"3@KRb4f 18.15.5 对话框编辑器 371
Ru)(dvk}S 18.15.6 控制对话框 377
ZR1+
O8 18.15.7 更高级的对话框 380
HKpD2M 18.16 Types语句 384
(.PmDBW 18.17 打开文件 385
(F_w>w.h 18.18 Bags 387
NeY"6!;k 18.13 进一步研究 388
:OHSxb>[ 19 vStack 389
>[K0=nA 19.1 vStack基本原理 389
<E"*)Oi 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391
'#H&:Htm;L 19.3 五棱镜 393
]X*YAPv 19.4 光束距离 396
* !X4P 19.5 误差 399
Z%Vr+)!4 19.6 二向分色棱镜 399
F\JLbY{x] 19.7 偏振泄漏 404
=h(7rU"Yz 19.8 波前误差—相位 405
'w}p[( 19.9 其它计算参数 405
3KtAK9PT 20 报表生成器 406
CP +4k.)*O 20.1 入门 406
%=BtOM_2 20.2 指令(Instructions) 406
Bk+{} 20.3 页面布局指令 406
\ZqK\= 20.4 常见的参数图和三维图 407
#
2d,U\_ 20.5 表格中的常见参数 408
#`vVgGZ& 20.6 迭代指令 408
H;qJH1EdD 20.7 报表模版 408
n9DbiL1{ 20.8 开始设计一个报表模版 409
@Eo4U]- 21 一个新的project 413
3a%xn4P 21.1 创建一个新Job 414
[qiOd! 21.2 默认设计 415
.M8=^,h^K 21.3 薄膜设计 416
Q2q|*EL 21.4 误差的灵敏度计算 420
?C}sR: K/ 21.5 显色指数计算 422
k'x#t( 21.6 电场分布 424
3#9uEDdE 后记 426
{ZG:M}ieN 有兴趣可以扫码加微咨询
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