I&PJ[U#~a 内容简介
+Y;P*U}Qg[ Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了
软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前
薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的
光学薄膜设计技术》。
bG;fwgAr 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。
,EqQU| 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。
VQ= 5Cf!NNV 讯技科技股份有限公司
2015年9月3日
sz7*x{E 目录
mh+T!v$[n) Preface 1
UmKE]1Yw4r 内容简介 2
L!f~Am:# 目录 i
MT6p@b5 1 引言 1
"8za'@D"f 2 光学薄膜基础 2
R'c*CLaiE 2.1 一般规则 2
iFIGJS 2.2 正交入射规则 3
Iu'9yb 2.3 斜入射规则 6
Y,L`WeQY. 2.4 精确计算 7
G':3U 2.5 相干性 8
Ou[K7-m%& 2.6 参考文献 10
]4~Yi1] 3 Essential Macleod的快速预览 10
3@Ndn 4 Essential Macleod的特点 32
2- iY:r 4.1 容量和局限性 33
DYX{v`>f^ 4.2 程序在哪里? 33
Sv =YI 4.3 数据文件 35
m\teE]8x 4.4 设计规则 35
44CZl{pt 4.5 材料数据库和
资料库 37
?<Qbp;WBo 4.5.1材料损失 38
=4TQ*;V: 4.5.1材料数据库和导入材料 39
~M~DH-aX 4.5.2 材料库 41
z']6C9m} 4.5.3导出材料数据 43
aZZ0eH 4.6 常用单位 43
1UQ,V`y 4.7 插值和外推法 46
/*C!]Z>. 4.8 材料数据的平滑 50
&YFe"C 4.9 更多光学常数模型 54
S2X@t>u- 4.10 文档的一般编辑规则 55
xd?=#d 4.11 撤销和重做 56
!Uiq3s`1T 4.12 设计文档 57
Va!G4_OT 4.10.1 公式 58
n%Oi~7> 4.10.2 更多关于膜层厚度 59
5Fy dh0. 4.10.3 沉积密度 59
n"iS[uj, 4.10.4 平行和楔形介质 60
#p+iwW- 4.10.5 渐变折射率和散射层 60
N^
+q^iW 4.10.4 性能 61
a\sK{`|X* 4.10.5 保存设计和性能 64
PRfq_:xy 4.10.6 默认设计 64
!ooi.Oz*Tu 4.11 图表 64
S5>s& 4.11.1 合并曲线图 67
RO3LZBL 4.11.2 自适应绘制 68
s|IBX0^@ 4.11.3 动态绘图 68
WcmX"{ 4.11.4 3D绘图 69
]9!y3"..W{ 4.12 导入和导出 73
0E\#!L 4.12.1 剪贴板 73
}6Pbjm * 4.12.2 不通过剪贴板导入 76
.!1[I{KU 4.12.3 不通过剪贴板导出 76
&l6@C3N$ 4.13 背景 77
z ]f(lwo{ 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80
j"Jf|Hq $ 4.15 生成Rugate 84
$f@YQN= 4.16 参考文献 91
9hr7+fW]t 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92
=r]l"T 5.1 Jobs 92
):N#X<b': 5.2 创建一个新Job(工作) 93
f y2vAwl 5.3 输入材料 94
)\])?q61 5.4 设计数据文件夹 95
j$T12 5.5 默认设计 95
^%!{qAp}Z 6 细化和合成 97
8K4^05*S 6.1 优化介绍 97
l8~(bq1 6.2 细化 (Refinement) 98
>/ _#+, 6.3 合成 (Synthesis) 100
(iKJ~bJ 6.4 目标和评价函数 101
xLed];2G 6.4.1 目标输入 102
S(@kdL 6.4.2 目标 103
|GMo"[ 6.4.3 特殊的评价函数 104
iM!Ya! 6.5 层锁定和连接 104
")KqPD6k 6.6 细化技术 104
V
u")%(ix 6.6.1 单纯形 105
s.4+5rE 6.6.1.1 单纯形
参数 106
A=kOSq 4Q 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107
?22U0UF 6.6.2.1 Optimac参数 108
cr;:5D%_ 6.6.3 模拟退火算法 109
aEdA'> 6.6.3.1
模拟退火参数 109
K/9Jx(I,qL 6.6.4 共轭梯度 111
:]:)c8!6 6.6.4.1 共轭梯度参数 111
x[mz`0 6.6.5 拟牛顿法 112
;PaU"z+Je~ 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112
qu^g~"s 6.6.6 针合成 113
`h'+4 6.6.6.1 针合成参数 114
RB4n>&Y 6.6.7 差分进化 114
;6 @sC[ 6.6.8非局部细化 115
brp3xgQ`] 6.6.8.1非局部细化参数 115
he(K 6.7 我应该使用哪种技术? 116
S ,F[74K 6.7.1 细化 116
z5gVP8*z5 6.7.2 合成 117
wa<k%_# M 6.8 参考文献 117
+TbAtkEF* 7 导纳图及其他工具 118
xHt7/8wF 7.1 简介 118
Jqb~RP~ 7.2 薄膜作为导纳的变换 118
XaCvBQ 7.2.1 四分之一
波长规则 119
U!uPf:p2 7.2.2 导纳图 120
Xz @#,F:@ 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124
c:7V.. 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125
Hc\C0V< 7.5 斜入射导纳图 141
#b/L~Bw[ 7.6 对称周期 141
mrr]{K 7.7 参考文献 142
o/3.U=px~ 8 典型的镀膜实例 143
rf H1Zl 8.1 单层抗反射薄膜 145
?j8!3NCl} 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146
frUs'j/bZ 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147
i&m_G5u88 8.4 W-膜层 148
hDi~{rbmc 8.5 V-膜层 149
/a*){JQ5j 8.6 V-膜层高折射基底 150
PR5N:Bw
8.7 V-膜层高折射率基底b 151
T9R#.y, 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152
H.ZF~Yuw 8.9 四层抗反射薄膜 153
@_f^AQ 8.10 Reichert抗反射薄膜 154
.X%J}c$ 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155
;N#}3lpLqg 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156
9h|6"6 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157
msxt'-$M 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158
`Pc6
G*p 8.15十五层宽带抗反射膜 159
W8 Ssv 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161
c #TY3Z| 8.17 1/4波长堆栈 162
uGz)Vz&3 8.18 陷波滤波器 163
)Zr\W3yWX 8.19 厚度调制陷波滤波器 164
I#xdksY 8.20 褶皱 165
!`%j#bv 8.21 消偏振分光器1 169
XfE0P(sE 8.22 消偏振分光器2 171
/69yR 8.23 消偏振立体分光器 172
MO$yst?fK 8.24 消偏振截止滤光片 173
q83^?0WD 8.25 立体偏振分束器1 174
8Azh&c 8.26 立方偏振分束器2 177
.mfLH N%: 8.27 相位延迟器 178
IDn<5# 8.28 红外截止器 179
9HO9>^ 8.29 21层长波带通滤波器 180
F(n<:TvlK 8.30 49层长波带通滤波器 181
@Dfg6<0 8.31 55层短波带通滤波器 182
YIwa = ^ 8.32 47 红外截止器 183
[L X/O@ 8.33 宽带通滤波器 184
8OZasf 8.34 诱导透射滤波器 186
vD@|]@gq 8.35 诱导透射滤波器2 188
e4N d 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190
G+N1#0,q 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192
^85Eveu 8.35 增益平坦滤波器 193
Hmr f\(x 8.38 啁啾反射镜 1 196
iXy1{=BDv 8.39 啁啾反射镜2 198
/%g9g_rt# 8.40 啁啾反射镜3 199
a%.W9=h=M( 8.41 带保护层的铝膜层 200
}|
MX=:@* 8.42 增加铝反射率膜 201
%IBT85{ 8.43 参考文献 202
EtzSaB*| 9 多层膜 204
1SztN3'q 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204
w[d8#U 9.2 内部透过率 204
D&pn@6bB 9.3 内部透射率数据 205
o3hgkoF 9.4 实例 206
we[+6Z6J 9.5 实例2 210
U2m#BMV 9.6 圆锥和带宽计算 212
Ic4#Tk20i 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214
U Buh'?j 10 光学薄膜的颜色 216
f~wON>$K 10.1 导言 216
X PyDZk/m 10.2 色彩 216
mP\V.^ 10.3 主波长和纯度 220
IrQ.[?C 10.4 色相和纯度 221
ss%, 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222
V3ht:>c9qs 10.6 色差 226
z(A[xN@/W< 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227
"7y,d%H 10.8 颜色渲染指数 234
%\
i&g$ 10.9 色差计算 235
]UUa/ep- 10.10 参考文献 236
]O@iT= *3 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238
OM0r*<D"! 11.1 短脉冲 238
avq$aq(3& 11.2 群速度 239
(a#gCG\ 11.3 群速度色散 241
j yD3Sa3 11.4 啁啾(chirped) 245
U.,S.WP+d 11.5 光学薄膜—相变 245
pM@8T25= 11.6 群延迟和延迟色散 246
N-QS/*C.~ 11.7 色度色散 246
Zpg;hj5_ 11.8 色散补偿 249
Ht;Rz*} 11.9 空间
光线偏移 256
_Z]l=5d 11.10 参考文献 258
AMjr[!44 @ 12 公差与误差 260
^'E^*R 12.1 蒙特卡罗模型 260
,5v'hG 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267
86)2\uan 12.2.1 误差工具 267
c+3`hVV 12.2.2 灵敏度工具 271
P6.PjK!Ar 12.2.2.1 独立灵敏度 271
J-tqEK* 12.2.2.2 灵敏度分布 275
8^}/T#l 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276
k!x|oC0 12.3 参考文献 276
%CHw+wT& 13 Runsheet 与Simulator 277
~Pw9[ycn3 13.1 原理介绍 277
=F$?`q` 13.2 截止滤光片设计 277
**%&|9He 14 光学常数提取 289
%urvX$r4K 14.1 介绍 289
}R<t=): 14.2 电介质薄膜 289
Q&:)D7m\)S 14.3 n 和k 的提取工具 295
:@i+yN cV 14.4 基底的参数提取 302
qm!cv;}c1 14.5 金属的参数提取 306
w\G J,e 14.6 不正确的模型 306
)iw-l~y; 14.7 参考文献 311
yF(9=z"? 15 反演工程 313
<VhmtT%7 15.1 随机性和
系统性 313
L"
ejA 15.2 常见的系统性问题 314
$B-/>Rz 15.3 单层膜 314
zN!W_2W* 15.4 多层膜 314
]]:K
l 15.5 含义 319
ij0I!ilG4 15.6 反演工程实例 319
76rv$z{g^ 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320
gZtQtFi 15.6.2 反演工程提取折射率 327
@/kI;8 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329
I>FL&E@K 16.1 光学性质的热致偏移 329
_C5i\Y) 16.2 应力工具 335
>hNSEWMY` 16.3 均匀性误差 339
~ |Vqv{ 16.3.1 圆锥工具 339
<&b,%O 16.3.2 波前问题 341
<@(\z
16.4 参考文献 343
;)FvTm'"\. 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345
^WB[uFt- 17.1 引言 345
f4 S:L& 17.2 操作数 345
DQY1oM)D! 18 如何在Function中编写脚本 351
0]7jb_n1 18.1 简介 351
g/.FJ-I* 18.2 什么是脚本? 351
=F_uK7W 18.3 Function中脚本和操作数对比 351
#).^k- 18.4 基础 352
4j3_OUwWZx 18.4.1 Classes(类别) 352
W,[ RB 18.4.2 对象 352
\;Q(o$5< 18.4.3 信息(Messages) 352
|iUF3s|? 18.4.4 属性 352
THq}>QI 18.4.5 方法 353
gS<p~LPf 18.4.6 变量声明 353
2?%*UxcO 18.5 创建对象 354
e=VSO!(rY 18.5.1 创建对象函数 355
y`zdI_!7 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355
>bV3~m$a+ 18.5.3 丢弃对象 356
R?)Yh.vi=t 18.5.4 总结 356
F}l3\uC] 18.6 脚本中的表格 357
t`Bk2Cc)+ 18.6.1 方法1 357
9e`};DE 18.6.2 方法2 357
'Grej8 18.7 2D Plots in Scripts 358
3y.+03
W 18.8 3D Plots in Scripts 359
_UTN4z2aTG 18.9 注释 360
x~}&t+FK 18.10 脚本管理器调用Scripts 360
^Ak?2,xB#+ 18.11 一个更高级的脚本 362
12#yHsk 18.12 <esc>键 364
k:?)0Uh%^ 18.13 包含文件 365
IrYj#,xJ 18.14 脚本被
优化调用 366
]vf_4QW= 18.15 脚本中的对话框 368
z{3`nd, 18.15.1 介绍 368
(enr{1 18.15.2 消息框-MsgBox 368
VE]TT>< 18.15.3 输入框函数 370
!q$VnqFk 18.15.4 自定义对话框 371
w%`S>+kX& 18.15.5 对话框编辑器 371
;v]C8 }L^ 18.15.6 控制对话框 377
Os[z>H? 18.15.7 更高级的对话框 380
3_wR2AU~ 18.16 Types语句 384
3L==p`
18.17 打开文件 385
k
76<CX 18.18 Bags 387
SN"Y@y)= 18.13 进一步研究 388
W>!:K^8] 19 vStack 389
!)oQ9,N 19.1 vStack基本原理 389
rEp\ld 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391
2<UC^vZ 19.3 五棱镜 393
)kjQ W&)g 19.4 光束距离 396
S}Wj.l+F 19.5 误差 399
/
:.I&^>P 19.6 二向分色棱镜 399
v @M6D} 19.7 偏振泄漏 404
J1(SL~e], 19.8 波前误差—相位 405
}f;TG:6 19.9 其它计算参数 405
=C$"e4%Be 20 报表生成器 406
J;XO1}9 20.1 入门 406
S^~"# 20.2 指令(Instructions) 406
ASEKP(]v 20.3 页面布局指令 406
ZL0Vx6Ph 20.4 常见的参数图和三维图 407
@>VX]Qe^X 20.5 表格中的常见参数 408
3-{WFnA 20.6 迭代指令 408
p&\QkI= 20.7 报表模版 408
Heqr1btK 20.8 开始设计一个报表模版 409
sE]z.Po= 21 一个新的project 413
:s+?"'DP 21.1 创建一个新Job 414
<z60EvHg 21.2 默认设计 415
,^
,R .T 21.3 薄膜设计 416
m==DBh 21.4 误差的灵敏度计算 420
JO]?u(m01 21.5 显色指数计算 422
_t]Q*i0p 21.6 电场分布 424
rgXX,+cO 后记 426
1h`F*:nva 有兴趣可以扫码加微咨询
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