iL<FFN~{ 内容简介
{z9,CwJan? Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了
软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前
薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的
光学薄膜设计技术》。
|kF"p~s 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。
Zbr1e5? 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。
sC ?e%B &k`/jl;u 讯技科技股份有限公司
2015年9月3日
hXD`OlX 目录
L<G6)'5W Preface 1
cR&d=+R& 内容简介 2
"u'dd3! 目录 i
?y@;=x!' 1 引言 1
u`XZtF<vf 2 光学薄膜基础 2
>_# A*B| 2.1 一般规则 2
<vzU}JA\ 2.2 正交入射规则 3
7CCSG{k 2.3 斜入射规则 6
S^N{=* 2.4 精确计算 7
Z1h6Y>j 2.5 相干性 8
p`S~UBcL. 2.6 参考文献 10
Gx|/
Jq 3 Essential Macleod的快速预览 10
29W`L2L 4 Essential Macleod的特点 32
x}f)P 4.1 容量和局限性 33
vos-[$ 4.2 程序在哪里? 33
a~k*Gd( 4.3 数据文件 35
cef:>>6_ 4.4 设计规则 35
)7m.n%B!5V 4.5 材料数据库和
资料库 37
k#2b3}(, 4.5.1材料损失 38
Wt=%.Y(x 4.5.1材料数据库和导入材料 39
<^+&A7Q-_ 4.5.2 材料库 41
!MOcF5M 4.5.3导出材料数据 43
m:g%5'qDZ 4.6 常用单位 43
z-|d/#h 4.7 插值和外推法 46
?U,Xy xN 4.8 材料数据的平滑 50
ioslarw1J 4.9 更多光学常数模型 54
?#:!!.I: 4.10 文档的一般编辑规则 55
t?p>L* 4.11 撤销和重做 56
m xy=3cUi 4.12 设计文档 57
"77l~3 4.10.1 公式 58
0
d2to5 ( 4.10.2 更多关于膜层厚度 59
CelM~W$=u 4.10.3 沉积密度 59
lC^?Jk[N 4.10.4 平行和楔形介质 60
cMfnc.P\K 4.10.5 渐变折射率和散射层 60
^Uldyv/ 4.10.4 性能 61
_2<k,Dl;RY 4.10.5 保存设计和性能 64
!/"y 4.10.6 默认设计 64
n* z;%'0 4.11 图表 64
&qV_|f; 4.11.1 合并曲线图 67
3UcOpq2i\ 4.11.2 自适应绘制 68
!)OA7%3m 4.11.3 动态绘图 68
F '55BY*! 4.11.4 3D绘图 69
yiczRex%rq 4.12 导入和导出 73
VjSA&R 4.12.1 剪贴板 73
s=XqI@ 4.12.2 不通过剪贴板导入 76
k")3R}mX 4.12.3 不通过剪贴板导出 76
HmpV;
<t3 4.13 背景 77
w'Jo).OW~ 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80
K
st2.Yy 4.15 生成Rugate 84
peU1
t:k? 4.16 参考文献 91
&^ =Y76 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92
L_AQS9a^D 5.1 Jobs 92
HF%)ip+ 5.2 创建一个新Job(工作) 93
! ?m8UE 5.3 输入材料 94
p|=0EWo4U 5.4 设计数据文件夹 95
h='@Q_1Sb 5.5 默认设计 95
KkZ o|\V 6 细化和合成 97
%[m%QP1;p 6.1 优化介绍 97
`{\10j*B 6.2 细化 (Refinement) 98
1<f,>BQ+ 6.3 合成 (Synthesis) 100
Va\?"dH>M 6.4 目标和评价函数 101
YfH+kDT 6.4.1 目标输入 102
I=V]_Ik4N 6.4.2 目标 103
}/z\%Y 6.4.3 特殊的评价函数 104
|R>I#NO5 6.5 层锁定和连接 104
J]Qbg7| 6.6 细化技术 104
Z9lfd6MU, 6.6.1 单纯形 105
K9UWyM<(2C 6.6.1.1 单纯形
参数 106
G6j9,#2@ 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107
nB ,&m& 6.6.2.1 Optimac参数 108
mr`EcO0 6.6.3 模拟退火算法 109
qo0]7m7| 6.6.3.1
模拟退火参数 109
?;Ge/~QU5 6.6.4 共轭梯度 111
Ks^EGy+O:- 6.6.4.1 共轭梯度参数 111
Z65]| 6.6.5 拟牛顿法 112
,:/3'L 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112
b~m|mb$ 6.6.6 针合成 113
CFx$r_!~ 6.6.6.1 针合成参数 114
4+r26S,T 6.6.7 差分进化 114
y:8Oc? 6.6.8非局部细化 115
s&WHKCb 6.6.8.1非局部细化参数 115
X6:
c- 6.7 我应该使用哪种技术? 116
2;=xHt 6.7.1 细化 116
#3Jn_Y%P. 6.7.2 合成 117
SN|:{Am 6.8 参考文献 117
l050n9#9p 7 导纳图及其他工具 118
(cqVCys 7.1 简介 118
"npLl]XM 7.2 薄膜作为导纳的变换 118
cXvq=Rb 7.2.1 四分之一
波长规则 119
@C6.~OiP 7.2.2 导纳图 120
J;7O`5J 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124
"# BI" 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125
giz#(61j^ 7.5 斜入射导纳图 141
Gd%E337d 7.6 对称周期 141
khtSZ"8X 7.7 参考文献 142
+eD+Z.{ 8 典型的镀膜实例 143
/0qLMlL$ 8.1 单层抗反射薄膜 145
)]5}d$83 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146
;-X5# 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147
X
Sw0t8 8.4 W-膜层 148
-.X-02 8.5 V-膜层 149
}e* OprF 8.6 V-膜层高折射基底 150
l>O~^41[ 8.7 V-膜层高折射率基底b 151
)R'~{;z } 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152
B @8
]! 8.9 四层抗反射薄膜 153
rSvQarT 8.10 Reichert抗反射薄膜 154
Th)Z?\8zk 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155
\4OX]{ 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156
pT` oC& 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157
aM|^t: 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158
YCd[s[ 8.15十五层宽带抗反射膜 159
rt[w
yz8 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161
u:f.g?!`" 8.17 1/4波长堆栈 162
Wc+)EX~KS 8.18 陷波滤波器 163
9vZD?6D,n 8.19 厚度调制陷波滤波器 164
g",htYoEnj 8.20 褶皱 165
F"<TV&xf 8.21 消偏振分光器1 169
%nfaU~IqK 8.22 消偏振分光器2 171
]V K%6PQ0 8.23 消偏振立体分光器 172
i#Y[I"' 8.24 消偏振截止滤光片 173
[_h/DhC:+ 8.25 立体偏振分束器1 174
yy%'9E ldc 8.26 立方偏振分束器2 177
AsW!GdIN 8.27 相位延迟器 178
tmJ-2 8.28 红外截止器 179
x2bKFJ>e@ 8.29 21层长波带通滤波器 180
3b2[i,m<L 8.30 49层长波带通滤波器 181
#r}O =izi 8.31 55层短波带通滤波器 182
6RLYpQ$+ 8.32 47 红外截止器 183
"NgfdLz 8.33 宽带通滤波器 184
Io81zA 8.34 诱导透射滤波器 186
xQ=sZv^M 8.35 诱导透射滤波器2 188
rv\m0*\< 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190
z_^Vgb] 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192
[Grd?mc# 8.35 增益平坦滤波器 193
aIl}|n" 8.38 啁啾反射镜 1 196
5QR=$?K 8.39 啁啾反射镜2 198
Xv%1W?
>@/ 8.40 啁啾反射镜3 199
{m)$ b 8.41 带保护层的铝膜层 200
$6evK~ 8.42 增加铝反射率膜 201
}9GD'N?4 8.43 参考文献 202
*?a rEYc8 9 多层膜 204
j[Y$)HF 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204
-<[MM2Y 9.2 内部透过率 204
}j/($, 9.3 内部透射率数据 205
Ip0~ 9.4 实例 206
s?8vs%(l 9.5 实例2 210
+$-@8,F> 9.6 圆锥和带宽计算 212
=skw@c^ 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214
bZE;}d 10 光学薄膜的颜色 216
4Y)rgLFj 10.1 导言 216
q*|H*sS 10.2 色彩 216
aeQvIob@ 10.3 主波长和纯度 220
w@&4dau 10.4 色相和纯度 221
`5V=U9zdE 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222
K\7\ 10.6 色差 226
wE.CZ%f 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227
L"|~,SVF 10.8 颜色渲染指数 234
%MQU&H9[ 10.9 色差计算 235
xpWx6 10.10 参考文献 236
)]/gu\90 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238
GESEj%R/b 11.1 短脉冲 238
i:6`Rmz1. 11.2 群速度 239
F3XB}; 11.3 群速度色散 241
"%o,P/<X 11.4 啁啾(chirped) 245
H\Y5Fd9) 11.5 光学薄膜—相变 245
7hs1S| 11.6 群延迟和延迟色散 246
lTe7n'y^^ 11.7 色度色散 246
}9k/Y/. 11.8 色散补偿 249
)"W(0M]> 11.9 空间
光线偏移 256
^usZ&9"@P 11.10 参考文献 258
o=t@83Fh5 12 公差与误差 260
FUVoKX!# 12.1 蒙特卡罗模型 260
</UUvMf" 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267
|\?mX=a.y 12.2.1 误差工具 267
TY(B]Q_o 12.2.2 灵敏度工具 271
6zmt^U 12.2.2.1 独立灵敏度 271
,f4VV\ 12.2.2.2 灵敏度分布 275
Rqi=AQ 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276
kYlsjM 12.3 参考文献 276
,N[N;Uoj 13 Runsheet 与Simulator 277
77FI&*q 13.1 原理介绍 277
#JmVq-) 13.2 截止滤光片设计 277
KT 3W>/#E 14 光学常数提取 289
>MuI-^3 14.1 介绍 289
S>-x<'Os 14.2 电介质薄膜 289
VH.mH< 14.3 n 和k 的提取工具 295
a'T8U1 14.4 基底的参数提取 302
2
L>;M 14.5 金属的参数提取 306
J**-q(> 14.6 不正确的模型 306
7$;#-l 14.7 参考文献 311
}?KvT$s 15 反演工程 313
E[:eMJR 15.1 随机性和
系统性 313
y /$Q5P+o 15.2 常见的系统性问题 314
Fgx{ s%&- 15.3 单层膜 314
UZ5O%SF 15.4 多层膜 314
[y(DtOR 15.5 含义 319
E,~|-\b}h 15.6 反演工程实例 319
J`E,Xw>2 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320
1JRM@ !x 15.6.2 反演工程提取折射率 327
jL
}bGD 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329
`!`g&:Y 16.1 光学性质的热致偏移 329
Jy#c 6 16.2 应力工具 335
\kDQ[4mGq 16.3 均匀性误差 339
6:fHPlqW 16.3.1 圆锥工具 339
y*F !k{P 16.3.2 波前问题 341
;6 ?a8t@ 16.4 参考文献 343
_d|CO 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345
<r9L-4 17.1 引言 345
Vu0d\l^$ 17.2 操作数 345
q7}r D$ 18 如何在Function中编写脚本 351
'YKzs ;y$ 18.1 简介 351
lOp7rW]$ 18.2 什么是脚本? 351
X#ZQpo'h 18.3 Function中脚本和操作数对比 351
.wU0F 18.4 基础 352
pZ_zyI#wx_ 18.4.1 Classes(类别) 352
f`$F^= 18.4.2 对象 352
$U_M|Xa 18.4.3 信息(Messages) 352
x0KW\<k 18.4.4 属性 352
fH@P&SX