复杂
光栅结构被广泛应用于
光谱仪、近眼显示
系统等领域。VirtualLab Fusion
软件用傅立叶模态法(FMM,或者RCWA)一种简易的
仿真方法来严格分析任意的光栅结构。使用图形用户界面,可以设置堆栈的几何图形,从而生成复杂的光栅结构。 此例程主要用于构建具有二维周期性特征的光栅。
• 光栅工具箱中构建二维光栅的方法 − 基于介质定义的类型 − 基于界面定义的类型
F
Qk; • 计算之前修改高级选项和检查定义的结构的方法。
yv:NH|,/y • 提示:在VirtualLab软件中的光栅结构中,表现为二维周期性的被称作 三维光栅。同样的,层状光栅(一维周期性)被称作二维光栅。
/N^+a-.Qd Bhs`Y/Ls- 初始化光栅工具箱
'~2v/[<`} • 初始化
-[`W m7en − 开始菜单栏 (Start)
~%}g"|o 光栅菜单栏(Grating)
#-f^;=7 通用光栅光路图(三维光栅) General Grating Light Path Diagram(3D Gratings)
nWl0R= • 提示:对于特殊类型的光栅,例如柱形光栅,
l|fd, 可以在光栅工具箱中直接点击柱形光栅光路
0Gs]>B4r/ 图(三维光栅)(Pillar Grating Light
% (.PRRI Path Diagram(3D Gratings))
XM 7zA^- ueg X 设置光栅结构
\bsm#vY, 0iB1_)~ • 首先,需要定义基底(Base Block)的厚度和介质。
w[+!c-A:H • VirtualLab中光栅结构在堆栈(stack) 中定义。
7,4x7! • 可以在基底的前表面、后表面或者前后表面同时添加堆栈(stack)。
nSC>x:jY5/ • 例如,图中在前表面添加了堆栈(stack)。
W&Hf}qs 基于
材料定义光栅的类型(例程: 柱形光栅)
vJ'ho 堆栈编辑器
}rQ*!2Y? 37[C^R!1c 在堆栈编辑器(Stack Editor)中,界面和材料可以从中目录(catalog) 中添加。
0IdD • 为了用一种特殊的介质定义光栅,需要添加两个平面界面,作为介质的边界。
V&nN/CF #Nd+X@j 两个平面之间的介质类型可以是均匀介质(homogenous)或者调制介质(modulated)。
C,]Ec2 • 使用调制介质,就可以非常有效地描述复杂光栅结构,如柱形光栅。
柱形光栅介质
:ox CF0Y M@K[i*e • 在目录类别中LightTrans预设(LightTrans Defined)下柱形介质类(pillar media)中可以添加铬柱(Chromium Pillars)。
Xo5L:(?K • 这种介质可以仿真柱形结构或者在基底表面打孔的结构。
w '"7~uN • 此例程中,矩形排布的金属铬圆柱位于熔融石英基底表面。
P}I*SV0 • 在堆栈编辑器的视图中,不同材料根据
折射率的高低表示为不同深浅的颜色
5jLDe~ (颜色越深,折射率越高)。
pZjFpd| • 注意:堆栈编辑器固定显示x-z平面的横截面视图。
CP'-CQ\Q hJ@nW5CI • 请注意:界面添加的顺序固定由基底表面开始算起。
<>Im$N ai • 选中的界面会以红色突出显示。
Uoe?5Of(* • 此外,无法在此处定义光栅前面的介质(指
Z4!3I@yZ 最后一个界面后的介质)。它会自动从光栅部件前面的材料中提取。
zW _'sC • 可以在
光学参数设置编辑器(Optical Setup Editor)中更改这处材料。
DI RCP=5 !v`=EF. • 堆栈周期(Stack Period)可以控制整个结构的周期。
IviWS84 • 对于二维周期性光栅,必须在x和y方向分别定义周期。
LQjqwsuN{ • 该周期也是FMM算法的周期边界条件。
2P=;r:cx • 对于简单的光栅结构,建议选择与介质周期一致 (Dependent from the Period of Medium) 选项,并选择合适的周期性介质的序号。
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