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    [技术]构造二维周期性光栅结构 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 05-06
    复杂光栅结构被广泛应用于光谱仪、近眼显示系统等领域。VirtualLab Fusion 软件用傅立叶模态法(FMM,或者RCWA)一种简易的仿真方法来严格分析任意的光栅结构。使用图形用户界面,可以设置堆栈的几何图形,从而生成复杂的光栅结构。 此例程主要用于构建具有二维周期性特征的光栅。
    • 光栅工具箱中构建二维光栅的方法 − 基于介质定义的类型 − 基于界面定义的类型 F Q k;  
    • 计算之前修改高级选项和检查定义的结构的方法。 yv:NH|,/y  
    • 提示:在VirtualLab软件中的光栅结构中,表现为二维周期性的被称作 三维光栅。同样的,层状光栅(一维周期性)被称作二维光栅。 /N^+a-.Qd  
    Bhs`Y/Ls-  
    初始化光栅工具箱 '~2v/[<`}  
    • 初始化 -[`W m7en  
    − 开始菜单栏 (Start) ~%}g"|o  
    光栅菜单栏(Grating)  #-f^;=7  
    通用光栅光路图(三维光栅) General Grating Light Path   Diagram(3D Gratings) nWl0R=  
    • 提示:对于特殊类型的光栅,例如柱形光栅, l|fd,  
    可以在光栅工具箱中直接点击柱形光栅光路 0Gs]>B4r/  
    图(三维光栅)(Pillar Grating Light % (.PRRI  
    Path Diagram(3D Gratings)) XM 7zA^-  
    ueg X  
    设置光栅结构 \bsm#vY,  
    0iB 1_)~  
    • 首先,需要定义基底(Base Block)的厚度和介质。 w[+!c-A:H  
    • VirtualLab中光栅结构在堆栈(stack) 中定义。 7, 4x7!  
    • 可以在基底的前表面、后表面或者前后表面同时添加堆栈(stack)。
    nSC>x:jY5/  
    • 例如,图中在前表面添加了堆栈(stack)。 W&Hf}q s  
    基于材料定义光栅的类型(例程: 柱形光栅) vJ'ho  
    堆栈编辑器 }rQ*!2Y?  
    37[C^R!1c  
    在堆栈编辑器(Stack Editor)中,界面和材料可以从中目录(catalog) 中添加。 0IdD   
    • 为了用一种特殊的介质定义光栅,需要添加两个平面界面,作为介质的边界。 V& nN/CF  
    #Nd+X@j  
    两个平面之间的介质类型可以是均匀介质(homogenous)或者调制介质(modulated)。 C,]Ec2  
    • 使用调制介质,就可以非常有效地描述复杂光栅结构,如柱形光栅。
    柱形光栅介质 :ox CF0Y  
    M@K[i*e  
    • 在目录类别中LightTrans预设(LightTrans Defined)下柱形介质类(pillar media)中可以添加铬柱(Chromium Pillars)。 Xo5L:(?K  
    • 这种介质可以仿真柱形结构或者在基底表面打孔的结构。 w '"7~uN  
    • 此例程中,矩形排布的金属铬圆柱位于熔融石英基底表面。 P}I*SV0  
    • 在堆栈编辑器的视图中,不同材料根据折射率的高低表示为不同深浅的颜色 5jLDe~  
    (颜色越深,折射率越高)。 pZjFpd|  
    • 注意:堆栈编辑器固定显示x-z平面的横截面视图。
    CP'-CQ\Q  
    hJ@nW5CI  
    • 请注意:界面添加的顺序固定由基底表面开始算起。 <>Im$N ai  
    • 选中的界面会以红色突出显示。 Uoe?5Of(*  
    • 此外,无法在此处定义光栅前面的介质(指 Z4!3I@yZ  
    最后一个界面后的介质)。它会自动从光栅部件前面的材料中提取。 z W _'sC  
    • 可以在光学参数设置编辑器(Optical Setup Editor)中更改这处材料。
    DIRCP=5  
    !v`=EF.  
    • 堆栈周期(Stack Period)可以控制整个结构的周期。 IviWS84  
    • 对于二维周期性光栅,必须在x和y方向分别定义周期。 LQjqwsuN{  
    • 该周期也是FMM算法的周期边界条件。 2P=;r:cx  
    • 对于简单的光栅结构,建议选择与介质周期一致 (Dependent from the Period of Medium) 选项,并选择合适的周期性介质的序号。 N#:"X;  
     
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