复杂
光栅结构被广泛应用于
光谱仪、近眼显示
系统等领域。VirtualLab Fusion
软件用傅立叶模态法(FMM,或者RCWA)一种简易的
仿真方法来严格分析任意的光栅结构。使用图形用户界面,可以设置堆栈的几何图形,从而生成复杂的光栅结构。 此例程主要用于构建具有二维周期性特征的光栅。
• 光栅工具箱中构建二维光栅的方法 − 基于介质定义的类型 − 基于界面定义的类型
j+nv=p • 计算之前修改高级选项和检查定义的结构的方法。
O
3G:0xF • 提示:在VirtualLab软件中的光栅结构中,表现为二维周期性的被称作 三维光栅。同样的,层状光栅(一维周期性)被称作二维光栅。
nVNs][ s~=g*99H 初始化光栅工具箱
z[*zuo • 初始化
gbJG`zC>U − 开始菜单栏 (Start)
RTZ:U@
光栅菜单栏(Grating)
(,shiK[5f 通用光栅光路图(三维光栅) General Grating Light Path Diagram(3D Gratings)
%Or2iuO%-, • 提示:对于特殊类型的光栅,例如柱形光栅,
JfSdUWxT 可以在光栅工具箱中直接点击柱形光栅光路
I-TlrW=t 图(三维光栅)(Pillar Grating Light
FQ1arUOFW, Path Diagram(3D Gratings))
Ll?g.z" @bE~@4mOu 设置光栅结构
$ND90my p x0Sy| • 首先,需要定义基底(Base Block)的厚度和介质。
@FU~1u3d • VirtualLab中光栅结构在堆栈(stack) 中定义。
A4}#U=3tI • 可以在基底的前表面、后表面或者前后表面同时添加堆栈(stack)。
0juDuE? • 例如,图中在前表面添加了堆栈(stack)。
]?M)NRk%S 基于
材料定义光栅的类型(例程: 柱形光栅)
9?$RO[vo 堆栈编辑器
;|;iCaD a+ {-J:4*` 在堆栈编辑器(Stack Editor)中,界面和材料可以从中目录(catalog) 中添加。
1EQvcw# • 为了用一种特殊的介质定义光栅,需要添加两个平面界面,作为介质的边界。
Q4=|@|U0 zx7#)* 两个平面之间的介质类型可以是均匀介质(homogenous)或者调制介质(modulated)。
RNvQ • 使用调制介质,就可以非常有效地描述复杂光栅结构,如柱形光栅。
柱形光栅介质
q1jN]H v"/TmiZ • 在目录类别中LightTrans预设(LightTrans Defined)下柱形介质类(pillar media)中可以添加铬柱(Chromium Pillars)。
my4\mi6P • 这种介质可以仿真柱形结构或者在基底表面打孔的结构。
ZzT&$J7]`{ • 此例程中,矩形排布的金属铬圆柱位于熔融石英基底表面。
&/iFnYVhy • 在堆栈编辑器的视图中,不同材料根据
折射率的高低表示为不同深浅的颜色
Ms,@t^nk (颜色越深,折射率越高)。
an. `dBm • 注意:堆栈编辑器固定显示x-z平面的横截面视图。
loBtd%wY .x>HA^4 • 请注意:界面添加的顺序固定由基底表面开始算起。
V'C-'Ythwf • 选中的界面会以红色突出显示。
b#A(*a_gN • 此外,无法在此处定义光栅前面的介质(指
TqAtcAurM 最后一个界面后的介质)。它会自动从光栅部件前面的材料中提取。
H@Q` • 可以在
光学参数设置编辑器(Optical Setup Editor)中更改这处材料。
p0Z:Wkz] W~<m[#:6C • 堆栈周期(Stack Period)可以控制整个结构的周期。
v~f'K3fLp • 对于二维周期性光栅,必须在x和y方向分别定义周期。
EDtCNqBS~2 • 该周期也是FMM算法的周期边界条件。
&u=8r* • 对于简单的光栅结构,建议选择与介质周期一致 (Dependent from the Period of Medium) 选项,并选择合适的周期性介质的序号。
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