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    [技术]构造二维周期性光栅结构 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-05-06
    复杂光栅结构被广泛应用于光谱仪、近眼显示系统等领域。VirtualLab Fusion 软件用傅立叶模态法(FMM,或者RCWA)一种简易的仿真方法来严格分析任意的光栅结构。使用图形用户界面,可以设置堆栈的几何图形,从而生成复杂的光栅结构。 此例程主要用于构建具有二维周期性特征的光栅。
    • 光栅工具箱中构建二维光栅的方法 − 基于介质定义的类型 − 基于界面定义的类型 _xsHU`(J#  
    • 计算之前修改高级选项和检查定义的结构的方法。 *epK17i=  
    • 提示:在VirtualLab软件中的光栅结构中,表现为二维周期性的被称作 三维光栅。同样的,层状光栅(一维周期性)被称作二维光栅。 y$Fk0s*>  
    k1'd';gQ  
    初始化光栅工具箱 %y)]Q|  
    • 初始化 8B?*?,n5  
    − 开始菜单栏 (Start) ]FNe&o1zX  
    光栅菜单栏(Grating)  7Y?59 [  
    通用光栅光路图(三维光栅) General Grating Light Path   Diagram(3D Gratings) y_``-F&Z  
    • 提示:对于特殊类型的光栅,例如柱形光栅, -{2Vz[[  
    可以在光栅工具箱中直接点击柱形光栅光路 (}RTHpD  
    图(三维光栅)(Pillar Grating Light /Qu<>#[?  
    Path Diagram(3D Gratings)) rF$ S  
    QsX`IYk  
    设置光栅结构 ;fYJ]5>  
    XE'3p6  
    • 首先,需要定义基底(Base Block)的厚度和介质。 s .@Szq  
    • VirtualLab中光栅结构在堆栈(stack) 中定义。 j ];#=+  
    • 可以在基底的前表面、后表面或者前后表面同时添加堆栈(stack)。
    =qvn?I^/  
    • 例如,图中在前表面添加了堆栈(stack)。 FwE<_hq//  
    基于材料定义光栅的类型(例程: 柱形光栅) 18^K!:Of  
    堆栈编辑器 }0Q T5   
    %H[~V f?d  
    在堆栈编辑器(Stack Editor)中,界面和材料可以从中目录(catalog) 中添加。 Z*R~dHr   
    • 为了用一种特殊的介质定义光栅,需要添加两个平面界面,作为介质的边界。 /2Z7  
    %x./>-[t  
    两个平面之间的介质类型可以是均匀介质(homogenous)或者调制介质(modulated)。 hwQrmVwvP  
    • 使用调制介质,就可以非常有效地描述复杂光栅结构,如柱形光栅。
    柱形光栅介质 ^V~^[Yp  
    "#:h#uRUb  
    • 在目录类别中LightTrans预设(LightTrans Defined)下柱形介质类(pillar media)中可以添加铬柱(Chromium Pillars)。 },=ORIB B:  
    • 这种介质可以仿真柱形结构或者在基底表面打孔的结构。 )gx*;z@  
    • 此例程中,矩形排布的金属铬圆柱位于熔融石英基底表面。 SB|Cr:wM  
    • 在堆栈编辑器的视图中,不同材料根据折射率的高低表示为不同深浅的颜色 RDU 'l^  
    (颜色越深,折射率越高)。 x*!*2{  
    • 注意:堆栈编辑器固定显示x-z平面的横截面视图。
    R2==<"gq  
    aI>F8R?  
    • 请注意:界面添加的顺序固定由基底表面开始算起。 HHerL%/   
    • 选中的界面会以红色突出显示。 4~AY: ib|  
    • 此外,无法在此处定义光栅前面的介质(指 +y_V$q$G  
    最后一个界面后的介质)。它会自动从光栅部件前面的材料中提取。 ?e%u[Q0  
    • 可以在光学参数设置编辑器(Optical Setup Editor)中更改这处材料。
    D;hJK-Y  
    _H@8qR  
    • 堆栈周期(Stack Period)可以控制整个结构的周期。 SBaTbY0  
    • 对于二维周期性光栅,必须在x和y方向分别定义周期。 y(*5qa<>  
    • 该周期也是FMM算法的周期边界条件。 IrIW>r} -  
    • 对于简单的光栅结构,建议选择与介质周期一致 (Dependent from the Period of Medium) 选项,并选择合适的周期性介质的序号。 E#A}2|7,g  
     
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