摘要
k=jk`c{<[ jWrj?DV,2N 对于如背光、
光学连接器和近眼显示等许多应用来说,光如何高效地耦合到波导
结构中是一个重要问题。对于这些应用,众所周知倾斜
光栅可以高效率地耦合单色光。这个例子展示了使用严格的傅立叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行
优化。对于预定义方向的级次,优化得到的光栅的
衍射效率超过90%。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。
H["`Mn7j2 0E3[N:s o%IA}e7PAa %yv<y+yP~ 建模任务
xwq+j " gMzcTmbc8 `ojoOB^L {?:X8&Sf 1阶的
参数优化
.K1FKC$C Utnr5^].2O CEX"D` xdp`<POn% 结果-容差分析
JvVWG'Z" 3h$6t7=C Ab{ K<:l PoG-Rqe 结果-容差分析
w9< R#y[A Uq^#r iq leTf&W 1H6<[iHW 在
VirtualLab Fusion中查看
: y%d JB<Sl4 1_PoqD!q >0ow7Uw; VirtualLab Fusion的工作流程
Egg=yF>T -?V-*jI •构造光栅结构
*U&0<{|T - 使用特殊介质配置光栅结构[用例]
=8AO: - 倾斜光栅的高级配置[用例]
I|gB@|_~ •分析光栅衍射效率
PQ5QA61 - 光栅级次分析器[用例]
J&W)(Cf •使用参数优化优化光栅参数
aX)I3^ar •使用参数运行进行容差分析
`6~Aoe - 参数运行文档的用法[用例]
Yc_8r+;( <>y;.@}Q v%+:/m1 7%Gwc?[x VirtualLab Fusion技术
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