摘要
JrZ"AId2 e;_ cC7 对于许多应用来说(例如背光、
光学连接器和近眼显示),如何将光高效地耦合到波导
结构中是一个重要的问题。对于这些应用,倾斜
光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中,介绍了使用严格的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行
优化。对于给定的方向级次,优化的光栅展示出超过90%的
衍射效率。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。
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\ F^knlv' O:K={#Xj 设计任务
-^a?]`3_v q].n1w[ +*Um:}& Gn+3OI" 1级
参数优化
*p&c}2' U2~7qC,!Do KaRdO =[X..<bW9: 结果-容差分析
N^u,C$zP9C 8`edskWrU n4* hQi+d P8Nzz(JF 结果-容差分析
8V]oR3' {i}z|'! <X5'uve :
5=E>! VirtualLab Fusion一瞥
zQ[g* @%8Xa7+ HkgmZw, 4s{_(gy VirtualLab Fusion中的工作流程
^g[,}t:/d f(Hh( 构建光栅结构
IIn0w2:i −使用特殊
材料的光栅结构设定[用例]
gc%aaYf> −倾斜光栅高级设定[用例]
D'dE!CAUs •光栅衍射效率分析
G'*_7HD −光栅阶序分析器[用例]
H[K(Tt4<& •使用参数优化进行光栅参数优化
GQZLOjsop •使用参数运行的容差分析
d~lB4 Z @:5vo }=d]ke9_ t")+L{ VirtualLab Fusion技术
'eKvt5&@ Mo4#UV