[技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

摘要 1H)mJVIKkB  
39pG-otJ  
高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 cTqkM@S  
 >@ t  

图片:1-191125164532947.png

U$rMZk  
2ZH+fV?.  
建模任务 taQE r2Zy  
Xlo7enzY  

图片:1-1911251A00R22.png

W:w~ M'o  
概述 '`];=QY9pg  
B@,9Cx564  
•案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 y4V:)@P  
•接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 v*;d  
/r}L_wI  

图片:1-1911251A211D3.png

i;[y!U  
p7?  
光线追迹仿真 [3%mNNk  
+2tQFV;  
•首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 5{Cz!ut;tE  
•单击go！ !<bw
g  
•获得了3D光线追迹结果。 +SJ.BmT  
4#U}bN  

图片:1-1911251A23G14.png

D}-.<  
9g92eKS  
光线追迹仿真 2[E wN!IZ  
?b7\m":'  
•然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 ngY%T5-  
•单击go！ / )0hsQs  
•结果得到点图（二维光线追迹结果）。 So:X!ljN(e  
bOY;IB _  

图片:1-1911251A311b4.png

_IH" SVub  
V"FQVtTx7  
场追迹仿真 V+d_1] l  
xO$P C,  
•切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 >r.]a`  
•单击go！ FLZ9pb[T  
\& JZ >h  

图片:1-1911251A335531.png

8*ZsR)!  
^?z%f_ri  
场追迹仿真（相机探测器） Cj5mM[:s  
O5\r%&$xd  
•上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 Iv`IJQH>  
•下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 w~'xZ?  
`:/'")+@v  

图片:1-1911251A41O04.png

18g_v"6o  

h8rW"8Th  
场追迹仿真（电磁场探测器） bbm\y] !t  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 J3$>~?^1  
|rmelQ-  

图片:1-1911251A519A0.png

3"fDFR  
A~ya{^}  
场追迹仿真（电磁场探测器） 3f;=#|l  
3;nOm =I  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 -@TY8#O#-  
jW/WG tz  

图片:1-1911251A5594c.png