[技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

摘要 qDv93  
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高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 {XNREjhm  
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建模任务 >_o}  
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概述 P/c&@_b  
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•案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。  Jd%H2`  
•接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 }2(,K[?  
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光线追迹仿真 3D`YZ#M  
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•首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 kB/D!1 "  
•单击go！ U'R)x";=  
•获得了3D光线追迹结果。 gUxP>hB  
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光线追迹仿真 D[^m{ 9_  
D$bIo"  
•然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 CPP` qt%f  
•单击go！ 9:,V5n=  
•结果得到点图（二维光线追迹结果）。 V>ieh2G(  
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场追迹仿真 wW#}:59}  
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•切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 _C(m<n  
•单击go！ XLAN Np%E  
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场追迹仿真（相机探测器） HvM)e.!  
Hz.(qW">5*  
•上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 Z7_m)@%;kk  
•下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 wm)#[x #  
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图片:1-1911251A41O04.png

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场追迹仿真（电磁场探测器） Au4yBm u  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 J]&y$?C  
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图片:1-1911251A519A0.png

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场追迹仿真（电磁场探测器）
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•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 NR -!VJQ  
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