摘要
Rf%ver =G=.THRUk 扫描
干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光
光源的低相干性,仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此,它可以实现精确的
显微镜测量。在本案例中,氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。
K8ThZY% cL1cBWd 9MXauTKI M6X f}> 建模任务
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jAeN#,? 仿真干涉条纹
{'r*Jb0 ^NnZYr. CyXcA;H,. 走进VirtualLab Fusion
;G\rhk 7rr5$,Mv uox;PDK
"= UP&= VirtualLab Fusion中的工作流程
UNhD 3}T&|@* •设置输入场
zzW^AvR −基本光源
模型[教程视频]
9X*q^u •使用导入的数据自定义表面轮廓
75v*&- •定义元件的位置和方向
+b{h*WWdj − LPD II:位置和方向[教程视频]
0`qq"j[6a •正确设置通道以进行非
序列追迹
]mqB&{g −非序列追迹的通道设置[用例]
gXfAz, •使用
参数运行检查影响/变化
q&W#nWBV −参数运行文档的使用[用例]
C]):+F<7 H[G EAQO 6 8_UQ. |w>DZG!}1- VirtualLab Fusion技术
x208^=F\\ hB^"GYZ