摘要
`l[6rf_. ?G~/{m. 扫描
干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光
光源的低相干性,仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此,它可以实现精确的
显微镜测量。在本案例中,氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。
I3}HNGvU <;$Sa's,LE Mr5('9% [OFTP#}c 建模任务
;#5-.z Ct =E;v7} 6i9Q,4~ 仿真干涉条纹
++J Bbuzj! hQg,#r(JE4 /I`cS%U 走进VirtualLab Fusion
ND9n1WZ&x K,lK\^y 2-"Lxe65f #K<=xP VirtualLab Fusion中的工作流程
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7|8eU2:k z{D$~ ob •设置输入场
Q8}TNJsU −基本光源
模型[教程视频]
%9~kA5Qj •使用导入的数据自定义表面轮廓
?;AL F •定义元件的位置和方向
uJ|5Ve − LPD II:位置和方向[教程视频]
>+A1 V[ •正确设置通道以进行非
序列追迹
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{M6mM> −非序列追迹的通道设置[用例]
{L-{Y<fke •使用
参数运行检查影响/变化
uNPD~TYN −参数运行文档的使用[用例]
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