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摘要 }UQ,B +DR{aX/ll m/(/!MVy W:6#0b"_# 干涉测量法是一项用于光学测量的重要技术。它被广泛应用于表面轮廓、缺陷、机械和热变形的高精度测量。作为一个典型示例,在非序列场追迹技术的帮助下,于 VirtualLab Fusion中建立了具有相干激光源的马赫-泽德干涉仪。该例证明了光学元件的倾斜和位移对干涉条纹图的影响。 Dhfor+Epy kC6Y?g 建模任务 3bjCa\ " W}}ZP];
$#3[Z;\ H{Lt,# 由于组件倾斜引起的干涉条纹 7Kb&BF|Q rc~)%M<[2 Wm5[+z|2?9 MpvGF7H 由于偏移倾斜引起的干涉条纹 : yq2
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