摘要
G$1gk ^G's # N'_~:H 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有
偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
+?+iVLr!l} <^"0A bix}#M )]{& 建模任务
%kL]-Z 28O 3N;a M4K>/-9X+V 光栅特性与参数的严格分析
z6'l" D'h #.|MV}6rQ 不同光栅周期下的衍射效率
]Ab$IKY CM
8Ub% +?uZ~VSl &W?
hCr 关于光栅周期选择的考虑
2qPQ3-' 4H hQzVM{ uY:u[ C[nacAi 偏振相关的衍射特性
(z^987G uEdeA'*^ -}P/<cu: &I?d(Z=:\ zN>tSdNkI- *
NdL4c~ kXW$[R e'&<DE) 通过参数优化进行光栅设计
c'Zs2s7$ h;t5v6[" 固定周期的2D参数优化
k[/`G5 OB\jq!" ])mYE
}g 2D参数优化–设计1
+tp@Tb U\UlQp? C%;J9(r 5
DvD 2D参数优化–设计2
Tw!_=zy(Gw HsAKz]Mq H6i;MQ kT4Oal+4 制造
公差分析–设计2
]L9$JTGF`w CYN")J8V [+>cW0a K6e_RzP,.w 变化光栅周期的3D参数优化
Y1L7s H 9 QxeK-x^ gBJM|"_A? .u&GbM%Ga 制造公差分析
h}f l:J1C hV[= xJF}6yPm@ #mH4\s 走进
VirtualLab Fusion
j$}W%ibj k+y>xI, SD=9fh0l +BkmI\ VirtualLab Fusion中的工作流程
o 9{~F`{p \,yX3R3}.~ ^y3snuLtE (xlAS •构造光栅
结构 4%,E;fB?= −通过使用界面来配置光栅结构
d9yfSZ [用例]
av4g/7= •分析光栅衍射效率
1bpjj'2%x −光栅级次分析器[用例]
kY]^~|i6 •使用参数运行搜索初始解决方案
kc}&\y −参数运行文档的使用[用例]
h-=lZ~W~ •通过参数优化找到最终设计
I9E]zoj8
Nk&$b VirtualLab Fusion技术
`HJRXoLySW EHcgWlTu