摘要
7ZR0cJw; S9mcThcZ 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有
偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
0n)99Osq(u S"Z.M _ A1p87o> ;QS(`SK l 建模任务
N/V~>UJ0{* Ucqn3& g)`;m%DG6 光栅特性与参数的严格分析
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z?M_Cz;:J 不同光栅周期下的衍射效率
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GwMr"e 3X:)r< 7)zF8V #KgDOCQH 关于光栅周期选择的考虑
/!A?>#O&. m#Dae\w& w'Vm'zo ]*v[6 + 偏振相关的衍射特性
uWjSqyb: Tg yY 9 I3^}$#> jxdX7aik vhE^jS<Tg CB KLct> =pnMV"'9 h#~\-j9> 通过参数优化进行光栅设计
4T??8J-J h6;vOd~% 固定周期的2D参数优化
X"EZpJ'W w^Atd|~gi #<o=W#[ 2D参数优化–设计1
#gc v])to &G$K.q k}hTSL !e?2
x@J 2D参数优化–设计2
,vcd>"PK &\m=|S Rc2JgV _uq[D`= 制造
公差分析–设计2
4d63+iM+} W!o|0u!D mhW*rH*m IcJQC 变化光栅周期的3D参数优化
8s9ZY4_ t->I# t7 /I48jO^2 mkuK$Mj 制造公差分析
yN{TcX 7fXta|eP0 =Q~@dP <^(>o 走进
VirtualLab Fusion
%?m_;iv :y1,OR/k k@|Go)~ HB*H%>L{"B VirtualLab Fusion中的工作流程
YLv5[pV [9d4 0>e *X\J[$! :k Kdda<g# •构造光栅
结构 "_
H9]}Q −通过使用界面来配置光栅结构
+lw8YH [用例]
!rTkH4!_ •分析光栅衍射效率
p+#]Jr −光栅级次分析器[用例]
`5
Iaz •使用参数运行搜索初始解决方案
YB]{gm2 −参数运行文档的使用[用例]
8k )i-&R •通过参数优化找到最终设计
j1O_Az|3 1O2jvt7M VirtualLab Fusion技术
']U<R=5T$ vLIaTr gz