复杂
光栅结构被广泛应用于
光谱仪、近眼显示
系统等领域。VirtualLab Fusion
软件用傅立叶模态法（FMM,或者RCWA）一种简易的
仿真方法来严格分析任意的光栅结构。使用图形用户界面，可以设置堆栈的几何图形，从而生成复杂的光栅结构。 此例程主要用于构建具有二维周期性特征的光栅。
• 光栅工具箱中构建二维光栅的方法 − 基于介质定义的类型 − 基于界面定义的类型
P!+'1KR • 计算之前修改高级选项和检查定义的结构的方法。
f;1K 5Y • 提示：在VirtualLab软件中的光栅结构中，表现为二维周期性的被称作 三维光栅。同样的，层状光栅（一维周期性）被称作二维光栅。
*# tJM.Z Y#u} tE
d 初始化光栅工具箱
?e,pN,4 • 初始化
RPE5K:P − 开始菜单栏 (Start)
r=X}%~_8X 光栅菜单栏(Grating)
HN&Z2v 通用光栅光路图（三维光栅） General Grating Light Path Diagram(3D Gratings)
2JJ"O|Ibz • 提示：对于特殊类型的光栅，例如柱形光栅，
XT@-$%u 可以在光栅工具箱中直接点击柱形光栅光路
C4~;y hz 图（三维光栅）(Pillar Grating Light
w8Sp <6* Path Diagram(3D Gratings))
@8;W \L$~1 fO0XA"= 设置光栅结构
/4`
0?/V P DrZY.- • 首先，需要定义基底(Base Block)的厚度和介质。
^OstR`U3 • VirtualLab中光栅结构在堆栈(stack) 中定义。
V- Cv,8 • 可以在基底的前表面、后表面或者前后表面同时添加堆栈(stack)。
!+L/Khw/ C • 例如，图中在前表面添加了堆栈(stack)。
~~SwCXZ+b^ 基于
材料定义光栅的类型（例程： 柱形光栅）
]8 f ms( 堆栈编辑器
k;w- E uWM{JEOl vfq%H( 在堆栈编辑器(Stack Editor)中，界面和材料可以从中目录(catalog) 中添加。
WC.t_"@ • 为了用一种特殊的介质定义光栅，需要添加两个平面界面，作为介质的边界。
BbgnqzU WIv?}gi:
X 两个平面之间的介质类型可以是均匀介质(homogenous)或者调制介质(modulated)。
V{^ !BBQ
• 使用调制介质，就可以非常有效地描述复杂光栅结构，如柱形光栅。
柱形光栅介质
\9/ b!A %=/) • 在目录类别中LightTrans预设(LightTrans Defined)下柱形介质类(pillar media)中可以添加铬柱(Chromium Pillars)。
}lfnnK# • 这种介质可以仿真柱形结构或者在基底表面打孔的结构。
8erS t!oM • 此例程中，矩形排布的金属铬圆柱位于熔融石英基底表面。
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Wu
*+paQ • 在堆栈编辑器的视图中，不同材料根据
折射率的高低表示为不同深浅的颜色
=u+d_'P7-R （颜色越深，折射率越高）。
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[1 • 注意：堆栈编辑器固定显示x-z平面的横截面视图。
t=-SH^$SR h\PHK C2 • 请注意：界面添加的顺序固定由基底表面开始算起。
>]W)'lnO • 选中的界面会以红色突出显示。
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s4BpV1 • 此外，无法在此处定义光栅前面的介质（指
Kwg4sr5"D 最后一个界面后的介质）。它会自动从光栅部件前面的材料中提取。
m<0&~rg • 可以在
光学参数设置编辑器(Optical Setup Editor)中更改这处材料。
}w1~K'ck}> sK7+Q • 堆栈周期(Stack Period)可以控制整个结构的周期。
rxy&spX • 对于二维周期性光栅，必须在x和y方向分别定义周期。
/ig:9R • 该周期也是FMM算法的周期边界条件。
69J4=5lX • 对于简单的光栅结构，建议选择与介质周期一致 (Dependent from the Period of Medium) 选项，并选择合适的周期性介质的序号。
OnK~3j
