复杂
光栅结构被广泛应用于
光谱仪、近眼显示
系统等领域。VirtualLab Fusion
软件用傅立叶模态法(FMM,或者RCWA)一种简易的
仿真方法来严格分析任意的光栅结构。使用图形用户界面,可以设置堆栈的几何图形,从而生成复杂的光栅结构。 此例程主要用于构建具有二维周期性特征的光栅。
• 光栅工具箱中构建二维光栅的方法 − 基于介质定义的类型 − 基于界面定义的类型
?.4l1X6Ba • 计算之前修改高级选项和检查定义的结构的方法。
fx-*') • 提示:在VirtualLab软件中的光栅结构中,表现为二维周期性的被称作 三维光栅。同样的,层状光栅(一维周期性)被称作二维光栅。
:Y3?, v+sbRuo8 初始化光栅工具箱
F]*-i 55S • 初始化
%S#"pKE6R − 开始菜单栏 (Start)
7dJaWD:& 光栅菜单栏(Grating)
*]6dV' 通用光栅光路图(三维光栅) General Grating Light Path Diagram(3D Gratings)
4"{wga~%/ • 提示:对于特殊类型的光栅,例如柱形光栅,
6<Wr
8u, 可以在光栅工具箱中直接点击柱形光栅光路
$bosGG 图(三维光栅)(Pillar Grating Light
k >CtWV5B Path Diagram(3D Gratings))
+3>4 ?,^g ]c2| m}I{: 设置光栅结构
B,Brmn (F YJ^o • 首先,需要定义基底(Base Block)的厚度和介质。
Sh6Cw4 R • VirtualLab中光栅结构在堆栈(stack) 中定义。
;alFK*K6 • 可以在基底的前表面、后表面或者前后表面同时添加堆栈(stack)。
w0Y%}7 • 例如,图中在前表面添加了堆栈(stack)。
;/T-rVND 基于
材料定义光栅的类型(例程: 柱形光栅)
:a@z53X@M 堆栈编辑器
vB*oI~< )x &@j4, 8w[EyVHA 在堆栈编辑器(Stack Editor)中,界面和材料可以从中目录(catalog) 中添加。
se HbwO3 b • 为了用一种特殊的介质定义光栅,需要添加两个平面界面,作为介质的边界。
=3C)sz} W@dY:N} 两个平面之间的介质类型可以是均匀介质(homogenous)或者调制介质(modulated)。
]:fCyIE • 使用调制介质,就可以非常有效地描述复杂光栅结构,如柱形光栅。
柱形光栅介质
-(}1o9e\7 G9inNz*Cx • 在目录类别中LightTrans预设(LightTrans Defined)下柱形介质类(pillar media)中可以添加铬柱(Chromium Pillars)。
ji
-1yX • 这种介质可以仿真柱形结构或者在基底表面打孔的结构。
# :w2Hf6Q • 此例程中,矩形排布的金属铬圆柱位于熔融石英基底表面。
=+S3S{\CK • 在堆栈编辑器的视图中,不同材料根据
折射率的高低表示为不同深浅的颜色
9 lJj/ (颜色越深,折射率越高)。
]/Qy1, • 注意:堆栈编辑器固定显示x-z平面的横截面视图。
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