复杂
光栅结构被广泛应用于
光谱仪、近眼显示
系统等领域。VirtualLab Fusion
软件用傅立叶模态法(FMM,或者RCWA)一种简易的
仿真方法来严格分析任意的光栅结构。使用图形用户界面,可以设置堆栈的几何图形,从而生成复杂的光栅结构。 此例程主要用于构建具有二维周期性特征的光栅。
• 光栅工具箱中构建二维光栅的方法 − 基于介质定义的类型 − 基于界面定义的类型
q.Z0Q • 计算之前修改高级选项和检查定义的结构的方法。
Y$oBsg\v • 提示:在VirtualLab软件中的光栅结构中,表现为二维周期性的被称作 三维光栅。同样的,层状光栅(一维周期性)被称作二维光栅。
eUF PzioW 8b6:n1<fn 初始化光栅工具箱
.!)7x3|$[ • 初始化
d=lZhqY − 开始菜单栏 (Start)
G=yQYsC$ 光栅菜单栏(Grating)
My)}oN7\z 通用光栅光路图(三维光栅) General Grating Light Path Diagram(3D Gratings)
aL#b8dCy' • 提示:对于特殊类型的光栅,例如柱形光栅,
c!w4N5aM 可以在光栅工具箱中直接点击柱形光栅光路
:4(7W[r6 图(三维光栅)(Pillar Grating Light
':.d,x) Path Diagram(3D Gratings))
`DWzp5Ax Zh3]bg5 设置光栅结构
Z [68ji] 60X B • 首先,需要定义基底(Base Block)的厚度和介质。
}"q1B • VirtualLab中光栅结构在堆栈(stack) 中定义。
#H7(d T • 可以在基底的前表面、后表面或者前后表面同时添加堆栈(stack)。
:Tj,;0#/ • 例如,图中在前表面添加了堆栈(stack)。
;Y K^&!N 基于
材料定义光栅的类型(例程: 柱形光栅)
$t}L|"=8X 堆栈编辑器
NbkWy 8MW|CM4Q joM98H@ 在堆栈编辑器(Stack Editor)中,界面和材料可以从中目录(catalog) 中添加。
Oe2Tmvl • 为了用一种特殊的介质定义光栅,需要添加两个平面界面,作为介质的边界。
L6l~!bEc tb0s+rb 两个平面之间的介质类型可以是均匀介质(homogenous)或者调制介质(modulated)。
d*q_DV • 使用调制介质,就可以非常有效地描述复杂光栅结构,如柱形光栅。
柱形光栅介质
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