摘要 wssRA?9< g)[V(yWu 共聚焦扫描
显微镜在 1950 年代由 M. L. Minsky 发明并获得
专利,后来又以采用
激光作为
光源的新颖性获得了广泛的应用。 通过使用空间针孔来阻挡从焦平面外散射或反射的光,有助于提高纵向
分辨率和对比度。 在本例中,我们在
VirtualLab Fusion 中构建了一个共聚焦扫描显微镜,并使用具有交替脊和凹槽的金属
光栅作为测试对象来演示其工作
原理。
HZB>{O ~H_/zK6e 建模任务 TER=*"! )9G[dDeC 共聚焦扫描显微镜是如何工作的,它如何检测物体横向位移导致的
功率变化?
2#]#sZmk }'V5/>m[ 焦点区域的探测场 /{l$sBUL /4V#C- 6I4\q.^qw 测试对象的直接反射 qJs<#MQ2 wu!59pL YUD`!C 测试对象的直接反射 h 8S. x) 6:5I26 8 +/rlHp 测试对象的像 x,+{9 K(rWNO 6dt]`zv/ 测试对象的像 BLdvyVFx CS5?Ti6 BwGfTua 功率测量与测试对象的横向偏移 qvsd5P eCO