摘要 ! %r5
NxVqV5'
roY oxF;\
!'(bwbd
双螺旋(DH) PSF工程在纵向上为三维成像提供了高分辨率,它可以通过在光瞳平面上增加一个带有漩涡的相位掩膜来产生[Ginni Grover等,Opt. Exp. 2012]。VirtualLab Fusion提供了一种快速方便的方法来计算高NA显微镜系统小离焦的DH PSFs。这个用例说明了DH-PSFs在离焦约130nm时有明显的变化。 hv te)
l)GV&V
建模任务 U'@eUY(Ov$
ZWaHG_
U)
Q+gd|^Vc9
xJrRJwL
在VirtualLab Fusion中构建系统 ]&w>p#_C
.ICGGC`O
系统构建块 ECqcK~h#E
qT^R>p
Am&/K\O
sG*1 ?
元件解算器 ^yg`U(
=8[4gM+
:Lqz`
:VC#\/f
利用光线追迹进行几何光学仿真 q:@$$}FjL
j@$p(P$
结果:几何光线追迹 -S\74hA
6
?FF!x
2V7x
),y{.n:wm
利用场追迹进行物理光学仿真 ((F[]<?
IT]D;
不同离焦像面的双螺旋PSF W*iPseXq
yg\bCvL&