摘要 54
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双螺旋(DH) PSF工程在纵向上为三维成像提供了高分辨率,它可以通过在光瞳平面上增加一个带有漩涡的相位掩膜来产生[Ginni Grover等,Opt. Exp. 2012]。VirtualLab Fusion提供了一种快速方便的方法来计算高NA显微镜系统小离焦的DH PSFs。这个用例说明了DH-PSFs在离焦约130nm时有明显的变化。 B=_w9iVN
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建模任务 SeX ]|?D
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在VirtualLab Fusion中构建系统 L4By5)
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系统构建块 iHa?b2=)
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元件解算器 rTPgHK]?l
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利用光线追迹进行几何光学仿真 |;ztK[(
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利用场追迹进行物理光学仿真 m%'nk"p9
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不同离焦像面的双螺旋PSF ~q$]iwwqT
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