[技术]锥形相位掩模的Talbot图像 [复制链接]

摘要 9YsR~SM  
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在传统的 Talbot 光刻中，在光敏层中仅使用一个图像。 但是，可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。 在本案例中，按照 I.-H. Lee 等人在 VirtualLab Fusion 中使用傅里叶模态方法 (FMM，也称为 RCWA) 对具有一层锥体的相位掩模进行建模。可以检测到不同的 Talbot 图像，在主像平面中会再现柱状图案，而在次要像平面中再现孔图案。 gj\)CBOv  
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图片:1-220G3232QN13.jpg

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建模任务 yKXff1^M  
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图片:1-220G3232T1D5.png

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AM"Nn L"  
structure and material parameters from I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) Q'+MFld  
LA_3=@2.H  
系统建模块 e{;OSk`x  
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图片:1-220G323292Xb.png

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特定位置的Talbot图案 5Zmw} M  
N=:5eAza  

图片:1-220G3233002M1.png

OA:%lC!  
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特定位置的Talbot图案 M :3u@06a  
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图片:1-220G32331001C.png

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不同位置的Talbot图案 pA{ 5V9
 
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图片:1-220G3233132321.png

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不同位置的Talbot图案 f<+4rHT  
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图片:1-220G3233159A5.png

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沿 Z 轴的强度 7nbB^2  
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图片:1-220G3233223910.png

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VirtualLab Fusion技术 /8VP[i)u  
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图片:1-220G32332544H.png