摘要
4Z%1eOR9V G3^<l0?S 众所周知，
光栅，尤其是那些特征尺寸与
波长相当的光栅，具有
偏振相关的
光学特性。这使得为任意偏振设计具有高
衍射效率的光栅变得困难。根据文献[T.Clausnitzer等人，Proc.SPIE 5252，174-182（2003）]中报道的概念，我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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k5aB|xo # tu>h 设计任务
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b_nE4> J1I,;WGf 光栅光学装置
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}p6 ]az3 固定周期二维参数优化
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Q /?`); 二维参数优化——设计#1
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2i 二维参数优化——设计#2
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p*lP9[7 8a 8a:d 制造
公差分析
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三维参数优化
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