摘要
lZZ4 O( :.f =>s] 众所周知,
光栅,尤其是那些特征尺寸与
波长相当的光栅,具有
偏振相关的
光学特性。这使得为任意偏振设计具有高
衍射效率的光栅变得困难。根据文献[T.Clausnitzer等人,Proc.SPIE 5252,174-182(2003)]中报道的概念,我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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公差分析
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三维参数优化
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