摘要
7iKbd ~ +$l9~`{ 众所周知，
光栅，尤其是那些特征尺寸与
波长相当的光栅，具有
偏振相关的
光学特性。这使得为任意偏振设计具有高
衍射效率的光栅变得困难。根据文献[T.Clausnitzer等人，Proc.SPIE 5252，174-182（2003）]中报道的概念，我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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3-8Vw$u 6C/ D&+4 设计任务
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_bks*.9}3b ]@ [=FK^ 光栅光学装置
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&:jE+l `u-VGd\ 偏振分析器
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# G{T(0<F v @N8v 优化
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-G Kelz?h> PUYo >eB)0 参数运行
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*j*jA/ 5^d%+*l;q 关于光栅周期选择的考虑
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M K[spV 7R2)Klt 偏振相关衍射特性
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r?+u}uH J b$z(?S 偏振相关衍射特性
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D!sSe|sL^ 0$_ imjZ 偏振相关衍射特性
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1*jL2P]D m{5$4v,[ 固定周期二维参数优化
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: [9'nR 二维参数优化——设计#1
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m pivg BT1'@qF 二维参数优化——设计#2
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&aQ)x C r%r<*s 制造
公差分析
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4<K`yU]" \@3 变光栅周期
三维参数优化
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k f!/ 9 6)$ N[FNs 制造公差分析
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rM=A" g0OS<,: VirtualLab Fusion 技术
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