摘要
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qoz 0<k!F3 = 众所周知，
光栅，尤其是那些特征尺寸与
波长相当的光栅，具有
偏振相关的
光学特性。这使得为任意偏振设计具有高
衍射效率的光栅变得困难。根据文献[T.Clausnitzer等人，Proc.SPIE 5252，174-182（2003）]中报道的概念，我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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`-m7CT sA &rKhB-18) 设计任务
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G= e[TR)i v<W++X7z 光栅光学装置
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Yw0@O1Cel 偏振分析器
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`^<U u56cT/J 1 固定周期二维参数优化
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U ] 二维参数优化——设计#1
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HzV3O-Qz] WukD|BCC 二维参数优化——设计#2
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"\30Y O>\ F{v+z8nW 制造
公差分析
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三维参数优化
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x@yF|8 { B 34^H: VirtualLab Fusion 技术
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