摘要
hw:zak#j , 2M3.xUS 众所周知，
光栅，尤其是那些特征尺寸与
波长相当的光栅，具有
偏振相关的
光学特性。这使得为任意偏振设计具有高
衍射效率的光栅变得困难。根据文献[T.Clausnitzer等人，Proc.SPIE 5252，174-182（2003）]中报道的概念，我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
vd
c k }xJ9EE*G/ 
j{ ?,nJdQ p6$ QTx
设计任务
,Drd s"H Iw(deD 
HeZ! "^w -v e{O-; 光栅光学装置
- o#HO_9 AF g* 
4\H:^U& 8l-+
4~mH 偏振分析器
qba< $ 3@kiUbq7Eu 
Z"<aS&GH ;aExEgTq 优化
|kyxa2F{
O;h ] 
`VCU`Y W Hk/Rg%< 参数运行
h7c8K)ntnf Nc:, [8{l 
*lRP ZN ??5qR8n. 关于光栅周期选择的考虑
*|h-iA+9 n*(Vf'k 
=|O`al n|dLK.Q 偏振相关衍射特性
M)C. b o{p q$`{$RX 
FVNxjMm, dtw1Am#Ci 偏振相关衍射特性
~gQ$etPd z1X Fc*5 
SV}q8z\ s7e)M t 偏振相关衍射特性
o65:)z
u -e_ IDE 
gO_{ (\w* %p6"Sg * 固定周期二维参数优化
H
RJz Ymkk"y.w 
,7,x9qE" 二维参数优化——设计#1
t-* oVX3D [ &RZ& 
zc>/1>? M e@"1 W 二维参数优化——设计#2
,R] hNjs-{ -Zc
6_]F| 
]CsF} wr'z E,&B P$B 制造
公差分析
Rs,\{# v*`$is+ 
DP **pf%j ;S5*n:d 变光栅周期
三维参数优化
H)S" `j y33+^ 
ZnSDq_Uk Nv}'"V> 制造公差分析
#ak2[UOT rt)70= 
HTiqErD2_ :%cL(',Q VirtualLab Fusion 技术
Y^$^ B, ZLw7-H6Fh 
