摘要
x!'7yx !8.En8Z<D- 众所周知，
光栅，尤其是那些特征尺寸与
波长相当的光栅，具有
偏振相关的
光学特性。这使得为任意偏振设计具有高
衍射效率的光栅变得困难。根据文献[T.Clausnitzer等人，Proc.SPIE 5252，174-182（2003）]中报道的概念，我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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Y+FP *2`:VFEV 关于光栅周期选择的考虑
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cST\~ SUm I-, >DLG 偏振相关衍射特性
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QO2Ut!Y T8U[xu.> 偏振相关衍射特性
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4Q;<Q" \*uugw,\y 固定周期二维参数优化
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AP0|z 二维参数优化——设计#1
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;}D-:J-z_ JA<~xo[Q9 制造
公差分析
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K Sc~GP _ ^s V|ck 变光栅周期
三维参数优化
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@|X VirtualLab Fusion 技术
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