摘要
}eSrJgF4M FMT_X 众所周知，
光栅，尤其是那些特征尺寸与
波长相当的光栅，具有
偏振相关的
光学特性。这使得为任意偏振设计具有高
衍射效率的光栅变得困难。根据文献[T.Clausnitzer等人，Proc.SPIE 5252，174-182（2003）]中报道的概念，我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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m ~gc c r%`3*<ALV) 设计任务
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sRC?l_n; =0>[-:Z 光栅光学装置
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USKC, &6&} {`9J8qRY 偏振分析器
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gj4ONmY PVrNS7 Rk/ 优化
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}&^1")2t dlwOmO'Bm) 参数运行
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zT'(I6 S:) <m%ZD OMa 关于光栅周期选择的考虑
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|w yua@2 w^[:wzF0 偏振相关衍射特性
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VgS2_TU J4?SC+\ 偏振相关衍射特性
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%:7/ym[ d26#0Gt-4i 偏振相关衍射特性
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:e\M~n+y tZ:fh p 固定周期二维参数优化
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AA}+37@2I 二维参数优化——设计#1
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3(1UI u X rut[)H 二维参数优化——设计#2
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hAD gi^ 制造
公差分析
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r` /.(F\2+A 变光栅周期
三维参数优化
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~jJ e|zg> KD'}9{F, 制造公差分析
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Nb\B*=4 AR _w7yfZLv+ VirtualLab Fusion 技术
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