摘要
utxT$1iJn~ 0 !yvcviw 众所周知，
光栅，尤其是那些特征尺寸与
波长相当的光栅，具有
偏振相关的
光学特性。这使得为任意偏振设计具有高
衍射效率的光栅变得困难。根据文献[T.Clausnitzer等人，Proc.SPIE 5252，174-182（2003）]中报道的概念，我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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&B\tcF EOu\7;kE 9 设计任务
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AK\X{>$a! %pmo wo~{ 参数运行
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Jp\a7`; 偏振相关衍射特性
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PV vNu5k Bsi HVr 固定周期二维参数优化
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iLw O4i 二维参数优化——设计#1
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/gT$ d2{ )K.~A&y@ 二维参数优化——设计#2
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b=v z/u;afB9q 制造
公差分析
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三维参数优化
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d;O16xcM/ DJ;il)^ VirtualLab Fusion 技术
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