摘要
)o8g=7Jm jX|=n.#q 众所周知，
光栅，尤其是那些特征尺寸与
波长相当的光栅，具有
偏振相关的
光学特性。这使得为任意偏振设计具有高
衍射效率的光栅变得困难。根据文献[T.Clausnitzer等人，Proc.SPIE 5252，174-182（2003）]中报道的概念，我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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设计任务
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p^ \n@V-b 光栅光学装置
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oP]L5S&A uu>lDvR* 偏振分析器
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e}Q>\ t45 1D$:: {h 优化
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]xR4- >eix /Ri,>}n 参数运行
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01nsdZ- XTj73 MWY 关于光栅周期选择的考虑
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a*Jn#Mx<M DVzssP g 偏振相关衍射特性
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\ 522,n` -,/3"}<^78 偏振相关衍射特性
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Bhx< g&| j C .HY S S 偏振相关衍射特性
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_-6e0sr Z `A"Q3sf% 固定周期二维参数优化
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QmHwn)Ly 二维参数优化——设计#1
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T\cR2ZT~ TC@bL<1 二维参数优化——设计#2
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m8u=u4z(" |f3U%2@ 制造
公差分析
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W'V@ 1w bTqc 变光栅周期
三维参数优化
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DH/L`$ }z?xGW/k 制造公差分析
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Y!;gQeC Fj,(_^ VirtualLab Fusion 技术
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