摘要
P0}B&B/a: v1{j1~ZR 众所周知,
光栅,尤其是那些特征尺寸与
波长相当的光栅,具有
偏振相关的
光学特性。这使得为任意偏振设计具有高
衍射效率的光栅变得困难。根据文献[T.Clausnitzer等人,Proc.SPIE 5252,174-182(2003)]中报道的概念,我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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O;RBK&P sA?8i:]O: 设计任务
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J*rYw5QB Zm0VaOT $I 光栅光学装置
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|c0^7vrC Q*<KX2O 参数运行
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Brxnl,%\ @@*x/"GJG 偏振相关衍射特性
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\Ebh6SRp\ =aB+|E 固定周期二维参数优化
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aR3jeB,=x 二维参数优化——设计#1
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ng+sK <VD7(j]'^ 二维参数优化——设计#2
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S8AbLl9G@> g5+m]3#t 制造
公差分析
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]*zG*.C F_:Wu,dUZ 变光栅周期
三维参数优化
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CRCy)AS,t j)8$hK/e0. VirtualLab Fusion 技术
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