摘要 nB6 $*'
8~y&" \
当用近轴光照明时，亚波长光栅仅产生一个衍射级，因此在这种情况下无法成图像。为了克服这一问题，可以使用非傍轴照明。如在此示例中，采用高NA聚光透镜来为具有不同周期的光栅提供高度聚焦的照明，并且该衍射场将由另一个高NA物镜采集。VirtualLab可以模拟这样的成像过程，包括使用傅立叶模态法对亚波长光栅进行严格模拟。 Tb\<e3Te_
sq?js#C5
a]
7nK+N
c/E'GG%Q%
1. 建模任务
@W-0ybv
ZP '0=
-quJX;~
`N8t2yF
2. 结果 z! :0%qu
B[9y<FB+
;. =]Ar}
k%V YAON
DhXV=Qw
f4$sH/ 2#v
