摘要 vgn@d,v
6*9}4`
当用近轴光照明时，亚波长光栅仅产生一个衍射级，因此在这种情况下无法成图像。为了克服这一问题，可以使用非傍轴照明。如在此示例中，采用高NA聚光透镜来为具有不同周期的光栅提供高度聚焦的照明，并且该衍射场将由另一个高NA物镜采集。VirtualLab可以模拟这样的成像过程，包括使用傅立叶模态法对亚波长光栅进行严格模拟。 )PkNWj6% y
e73^#O&Xt
/Y[~-Y+!,
E{=2\Wkcp
1. 建模任务 _ 7oV<
D+ V7hpH-
Bhp OXqg
`&M{c fp_
2. 结果 r%wA&FQ8U
iK;dU2h
4!$
M q;U
W-RqN!snJ8
?&WYjTU]H
: Ud[f`t
