前言
5c]:/9& 微纳
光学是当前光学学科发展最活跃的前沿之一,结合了光子学与纳米技术的前沿成果,主要优点是能在局域电磁相互作用的基础上实现许多全新的功能,成为21世纪不可或缺的关键科学和技术。微纳光学不仅是光学领域的前沿研究方向之一,也是目前新型光电子产业的重要发展方向,在光通信、光互联、光存储、传感成像、传感测量、显示、固体
照明、生物医学、安全、绿色能源等领域起到不可替代的作用。在这些广泛的应用领域可以使用
JCMsuite进行模拟分析与设计,大大降低时间成本和物料成本。
B$2b=\ JCMsuite是基于有限元方法(FEM)的一款纳米光学软件包。使用有限元方法(FEM)计算复杂纳米
光学系统中电磁场分布,为解决科学和技术挑战提供了一种通用、严格且非常快速的方法。JCMsuite可以解决时谐麦克斯韦方程组的光散射问题、波导设计问题和光学共振问题,以及线性弹性问题、热传导问题以及这些类型的任何耦合问题。
:u,.(INB 通过JCMsuite,用户可以定义各种材料特性,例如复杂和各向异性的材料的介电常数和磁导率张量、分散特性、导热率和刚度。软件依赖基于残差的误差估计,自动选择各种数值设置,例如有限元度和PML(完全匹配层)设置。同时也特别关注光学上所有必要的后期处理和有效计算,例如傅立叶变换、远场、能量通量、重叠积分、光学成像、共振扩展和赛尔因子。
-E?:W`! 本书详细介绍了JCMsuite各个应用领域的实操案例。本书共十一章,分别介绍了不同应用领域的案例介绍,包含
激光、掩模、散射测量、椭偏仪、光伏发电、表面等离子体、
光纤、光学手性、衍射光学元件以及光子晶体。每个案例都涵盖了建模流程,从材料定义、布局定义、
光源定义到项目定义整个过程,旨在帮助JCMsuite初学者通过案例快速学会软件。本书主要参考JCMwave公司发布的案例翻译整理而成。
G"?7 Z&+ 《JCMsuite案例指导书籍》,是由上海讯技光电工程部成员翻译整理而来,译者希望本书能对JCMsuite的使用者有所帮助,通过学习后能较好的掌握JCMsuite软件的基本使用方法。由于译者水平有限,书中错误纰漏之处,敬请同行读者批评和指正。
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A+/5TW 讯技光电科技(有限)公司
R278 ^E 2022年2月 上海
|`:cB qhY+<S9 目录
G~1;_' 1.光源部分—引言 3
-0CBMoe 1.1垂直腔面发射
激光器 3
HMF2sc$N 1.2高功率二极管激光器 7
aPelt` 1.3量子点发射器 12
@6G)(NGD 1.3.1微米柱 12
AT1cN1:4? 1.3.1.1旋转对称发射器 14
b5|*p(7[ 1.3.2微
透镜 18
#S?^?3d 1.3.2.1耦合至光纤 20
by>%}#M 1.3.3二维模型 22
8S#$'2sT 2.光掩模 23
Cw(e7K7& 2.1衰减相移掩模 24
Acw`ytV 2.1.1降基法 26
89:nF# 2.2独立的接触孔 33
`'s_5Ek 2.3 EUV掩模 37
vSnVq>-q& 2.4光学成像 42
iXm&\.% 3.散射测量 43
Jt5V{9:(' 3.1硅通孔技术 43
`e,}7zGR 4.椭偏仪 48
[`GSc6j 4.1 块状材料 48
`$f`55e 5.光伏发电 51
s@{82}f~ 5.1 薄膜
太阳能电池 51
#`3Q4 5.1.1薄膜太阳能电池一维模型 59
n0 l|7:Mk 6.表面等离子体光学 60
vE)N6Ss 6.1孤立的狭缝和凹槽 61
Hes!uy 6.2等离子波导 66
Ll=G+cw6P 6.3等离子纳米天线 69
.F7?}8>Z 6.3.1共振扩张 71
t}R!i-D|HB 7.光纤 72
@LI;q 7.1单模光纤 72
@FIL4sb 7.2折射率渐变光纤 74
#tKks:eL 7.3弯曲单模光纤 77
H"/J R 7.4光子晶体光纤 78
d=bKNA90 7.4.1空心光子晶体光纤 78
PFp!T [) 7.4.1.1核心模式过滤 80
o?}dHTk7 7.4.1.2扭曲式光子晶体光纤 82
@2"3RmYLo 7.4.2多核光子晶体光纤 82
TQO|C? 7.4.2.1减少计算域问题 84
8)8~c@ 8.光学手性 85
R_G2C@y* 8.1孤立散射体 85
W\Pd:t 8.2四分之一波片 88
y<6Sl6l* 9.散射光学元件 90
<2]h$53y! 9.1光栅 91
'|]}f }Go 9.1.1线栅 92
R8[VD iM6E 9.1.2闪耀光栅 95
nX:E(9q7c 9.1.3方形晶胞 97
oA5Qk3b: 9.1.4六方晶胞 99
K{_~W yRF 9.2孤立线栅 101
sd\}M{U 9.3光阑 104
GImPPF 9.4狭缝 106
sP^:*B0 9.5十字交叉结构 109
_XZK2Q[ 9.6 纳米球 110
nq?+b >// 10.硅光子 117
O;4S<N 10.1脊形波导 117
(KC08 10.2环形谐振腔 119
7Z2D}O+ 10.3光子晶体谐振腔 124
Ru`afjc 11.光子晶体 126
9)+!*(D 11.1光子晶体谐振腔 126
qGag{E5! 11.2光子晶体光纤 128
tiGH#~? 11.3一维光子晶体 128
H%m^8yW1 有兴趣可以扫码加微咨询
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