前言
a"g!e^ 微纳
光学是当前光学学科发展最活跃的前沿之一,结合了光子学与纳米技术的前沿成果,主要优点是能在局域电磁相互作用的基础上实现许多全新的功能,成为21世纪不可或缺的关键科学和技术。微纳光学不仅是光学领域的前沿研究方向之一,也是目前新型光电子产业的重要发展方向,在光通信、光互联、光存储、传感成像、传感测量、显示、固体
照明、生物医学、安全、绿色能源等领域起到不可替代的作用。在这些广泛的应用领域可以使用
JCMsuite进行模拟分析与设计,大大降低时间成本和物料成本。
^4Ah_U JCMsuite是基于有限元方法(FEM)的一款纳米光学软件包。使用有限元方法(FEM)计算复杂纳米
光学系统中电磁场分布,为解决科学和技术挑战提供了一种通用、严格且非常快速的方法。JCMsuite可以解决时谐麦克斯韦方程组的光散射问题、波导设计问题和光学共振问题,以及线性弹性问题、热传导问题以及这些类型的任何耦合问题。
6;qy#\}2 通过JCMsuite,用户可以定义各种材料特性,例如复杂和各向异性的材料的介电常数和磁导率张量、分散特性、导热率和刚度。软件依赖基于残差的误差估计,自动选择各种数值设置,例如有限元度和PML(完全匹配层)设置。同时也特别关注光学上所有必要的后期处理和有效计算,例如傅立叶变换、远场、能量通量、重叠积分、光学成像、共振扩展和赛尔因子。
{LQ#y/H? 本书详细介绍了JCMsuite各个应用领域的实操案例。本书共十一章,分别介绍了不同应用领域的案例介绍,包含
激光、掩模、散射测量、椭偏仪、光伏发电、表面等离子体、
光纤、光学手性、衍射光学元件以及光子晶体。每个案例都涵盖了建模流程,从材料定义、布局定义、
光源定义到项目定义整个过程,旨在帮助JCMsuite初学者通过案例快速学会软件。本书主要参考JCMwave公司发布的案例翻译整理而成。
}:*]aL<7_ 《JCMsuite案例指导书籍》,是由上海讯技光电工程部成员翻译整理而来,译者希望本书能对JCMsuite的使用者有所帮助,通过学习后能较好的掌握JCMsuite软件的基本使用方法。由于译者水平有限,书中错误纰漏之处,敬请同行读者批评和指正。
">jj Z} r*K% 讯技光电科技(有限)公司
wtV#l4 2022年2月 上海
c>~*/%+ 3%;a)c;D 目录
R=
o2K 1.光源部分—引言 3
;H.^i|_/ 1.1垂直腔面发射
激光器 3
WPG(@zD 1.2高功率二极管激光器 7
PO7Lf#9] 1.3量子点发射器 12
@\P;W(m.i 1.3.1微米柱 12
pDCeQ6? 1.3.1.1旋转对称发射器 14
kO*$"w#X[p 1.3.2微
透镜 18
KC#q@InK 1.3.2.1耦合至光纤 20
D^3vr2 1.3.3二维模型 22
(<oyN7NT 2.光掩模 23
5K?IDt7A] 2.1衰减相移掩模 24
=j*$
|X3W 2.1.1降基法 26
#!KE\OI;@5 2.2独立的接触孔 33
E5lBdM>2 2.3 EUV掩模 37
!*. -`$x 2.4光学成像 42
6Yxh9*N~] 3.散射测量 43
f|lU6EkU 3.1硅通孔技术 43
8- %TC\: 4.椭偏仪 48
{_Rr 6 4.1 块状材料 48
Jrpx}2'9:a 5.光伏发电 51
Z//+Gw<' 5.1 薄膜
太阳能电池 51
//<nr\oP 5.1.1薄膜太阳能电池一维模型 59
,.1Psz^U 6.表面等离子体光学 60
QR0Q{}wbqU 6.1孤立的狭缝和凹槽 61
)vb*Ef 6.2等离子波导 66
CxG#"{& 6.3等离子纳米天线 69
%pd ,%pg 6.3.1共振扩张 71
f-n1I^| 7.光纤 72
K;z7/[% 7.1单模光纤 72
364`IC( a 7.2折射率渐变光纤 74
| Aw%zw1@ 7.3弯曲单模光纤 77
lun\`f 5Q 7.4光子晶体光纤 78
\(Y\|zC'0$ 7.4.1空心光子晶体光纤 78
GV69eG3bX# 7.4.1.1核心模式过滤 80
'd$P`Vw: 7.4.1.2扭曲式光子晶体光纤 82
c%G{#}^2 7.4.2多核光子晶体光纤 82
#(JNn'fzq 7.4.2.1减少计算域问题 84
c+$*$|t=v` 8.光学手性 85
j; y#[| 8.1孤立散射体 85
Vq?p|wy 8.2四分之一波片 88
?fjuh}Q5h 9.散射光学元件 90
q$tUH)0 9.1光栅 91
'*w00 9.1.1线栅 92
EYEnN 9.1.2闪耀光栅 95
sN2p76KN 9.1.3方形晶胞 97
~h85BF5 9.1.4六方晶胞 99
JYd 'Jp8bP 9.2孤立线栅 101
gSUcx9f] 9.3光阑 104
Y
M\ K%rk 9.4狭缝 106
K&70{r 9.5十字交叉结构 109
0rDh}<upjk 9.6 纳米球 110
\BZhf?9U 10.硅光子 117
Y>G@0r BG 10.1脊形波导 117
\$e)*9) 10.2环形谐振腔 119
]?
g@jRs 10.3光子晶体谐振腔 124
z>Hgkp8D" 11.光子晶体 126
v+`N*\J_ 11.1光子晶体谐振腔 126
u TK,& 11.2光子晶体光纤 128
h=kh@}, 11.3一维光子晶体 128
khrb-IY@ 有兴趣可以扫码加微咨询
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