[技术]纳米柱阵列超颖表面构建模块的严格分析 [复制链接]

摘要 QJ7L7S  

&T}''  
利用先进的制造技术，人们成功实现了具有高数值孔径的可见波长的超透镜。通常使用空间变化的纳米结构作为模块来构建超透镜。在这个例子中分析了用于组成偏振不敏感超透镜的纳米柱状结构。利用傅立叶模态方法（FMM，也称为RCWA），严格计算这种纳米柱的振幅和相位传输。 }eRD|1  
T9879[ZU\  

图片:1-1Z604162103292.png

4`8<   
>z.<u|r2  
建模任务 Jyqc2IH  
|H!9fZO  

图片:1-1Z604162136335.png

^J\~XYg{7  
 .fdL&z  
纳米柱分析vs柱子直径 b&5lYp"d  
mb!9&&2-t  

图片:1-1Z6041622011I.png

]hbyELs  
Y
"VY%S^  
纳米柱分析vs柱子直径 S*,rGCt'T  
al[n,u  

图片:1-1Z60416222I95.png

Yp:KI7  
jvQ*t_L  
附录：TiO2的折射率 ]7/ b/J  
Bdu&V
*0g  

图片:1-1Z604162255154.png

<!pvqNApg  
HX6Ma{vBk  
图表来源于R. C. Devlin, M. Khorasaninejad, W.-T. Chen, J. Oh, F. Capasso, arXiv:1603.02735 (2016) Y}vr>
\  
gB4U*D0[e~  
VirtualLab Fusion视图 4NdN<#Lr  
NmSo4Dg`U  

图片:1-1Z604162325593.png

jr`Ess  
P(K
>=O  
VirtualLab Fusion工作流程 e~"f
n*"  
d`(@_czdF  
 构造光栅结构 ?Oc{bF7  
- 使用界面配置光栅结构[用例] 3dDX8M?  
- 使用特殊介质配置光栅结构[用例] 0]jA<vLR  
>N.]|\V  
 分析光栅衍射效率 Y!T %cTK)a  
- 光栅级次分析器[用例] nQ/E5y  
shMSN]S_x  
 使用参数运行检查特定参数的影响 DK oN}c  
- 参数运行文档的用法[用例] SC- $B  
eBJUv]o %  
VirtualLab Fusion技术 8zBWIi  
wGZR31  

图片:1-1Z60416250D31.png