[技术]纳米柱阵列超颖表面构建模块的严格分析 [复制链接]

摘要 %g5jY%dg.r  
=*[, *A  
利用先进的制造技术，人们成功实现了具有高数值孔径的可见波长的超透镜。通常使用空间变化的纳米结构作为模块来构建超透镜。在这个例子中分析了用于组成偏振不敏感超透镜的纳米柱状结构。利用傅立叶模态方法（FMM，也称为RCWA），严格计算这种纳米柱的振幅和相位传输。 Cd9t{pQD4  
_AAx )  
)PHl>0i!  
!~tnti6  
建模任务 ] :GfOgo  
v6KL93  
0 c,bet{m  
&(WE]ziuO  
纳米柱分析vs柱子直径 $TFTIk*uU  
hxP6C6S  
|M]sk?"^  
AtuZF  
纳米柱分析vs柱子直径 ]P JH'=  
"
{mt?  
lt
P
  
Bac?'ypm  
附录：TiO2的折射率 jf2y0W>6s  
D@2Ya/c  

JPHUmv6  
_y|[Z;  
图表来源于R. C. Devlin, M. Khorasaninejad, W.-T. Chen, J. Oh, F. Capasso, arXiv:1603.02735 (2016) M2a}x+5'  
Ml8E50t>;  
VirtualLab Fusion视图 EmYO5Whi  
j}i,G!-u  
fdg[{T4:  
`9]P/J^  
VirtualLab Fusion工作流程 (=6P]~,  
`x5ll;"J  
 构造光栅结构 #^"hqNwA  
- 使用界面配置光栅结构[用例] DIL)7K4  
- 使用特殊介质配置光栅结构[用例] BW+qp3k\  
nm<L&11  
 分析光栅衍射效率 +'!h-x1y~  
- 光栅级次分析器[用例] ,ZLG7e  
7 _X&5ni  
 使用参数运行检查特定参数的影响
:t_}_!~  
- 参数运行文档的用法[用例] 2#,8evH  
2K5}3<KD/  
VirtualLab Fusion技术 p!. /  
mxtlr)