摘要
sZ'3PNpCP &V( LeSI 利用先进的制造技术,人们成功实现了具有高数值
孔径的可见
波长的超
透镜。通常使用空间变化的
纳米结构作为模块来构建超透镜。在这个例子中分析了用于组成偏振不敏感超透镜的纳米柱状结构。利用傅立叶模态方法(FMM,也称为RCWA),严格计算这种纳米柱的振幅和相位传输。
!9o8v0ZI :B- ,*@EU
B0Z~L){i O!f* @ 建模任务
2
;B[n;Q{ U(./LrM05
rI]:| k l}AB):<Z 纳米柱分析vs柱子直径
xs &vgel> n?,fF(
<R{\pz2w &8&WY1cU 纳米柱分析vs柱子直径
k5xirB_ g1J]z<&
YgWnPp '`o+#\,b^% 附录:TiO2的
折射率 5. l&nt' &2\.6rb.
9DtSYd/ h V8A<VT 图表来源于R. C. Devlin, M. Khorasaninejad, W.-T. Chen, J. Oh, F. Capasso, arXiv:1603.02735 (2016)
R1q04Zj{2 nj9hRiLn VirtualLab Fusion视图
WJ9u3+ 'ZDa *9nkF
\aW5V: ? +vbNZqwz VirtualLab Fusion工作流程
b`:Eo+p jN {ED_ 构造
光栅结构
`aI%laj&M - 使用界面配置光栅结构[用例]
rz.`$b - 使用特殊介质配置光栅结构[用例]
)O&$-4gL' aVtwpkgZ 分析光栅
衍射效率
ZK'I$p]b - 光栅级次分析器[用例]
[w4z)! -0\$JAyrx 使用
参数运行检查特定参数的影响
uw<Ruy - 参数运行文档的用法[用例]
c&_3"2: oD}I{&=wa VirtualLab Fusion技术
T@S+5( W@0(Y9jdg