时间地点: J)leRR&
主办单位:讯技光电科技(上海)有限公司;苏州黉论教育咨询有限公司 ]EZiPW-uy
授课时间:2023年12月28日(四)-30日(六)共3天 AM 9:00-PM 16:00 G@Y!*ZH*f
授课地点:上海市嘉定区南翔银翔路819号中暨大厦18楼1805室 /htM/pR
课程讲师:讯技光电高级工程师 e4/Y/:vFO
课程费用:5000RMB(课程包含课程材料费、开票税金、午餐费用)课程概要: zVU{jmS
本课程从基本衍射原理开始,逐步阐明光的衍射本质以及衍射光学元件的工作原理。在基础衍射理论基础之上,进一步讨论衍射光学元件的设计方法。在传统衍射光学理论之上,再进一步讨论微纳光学领域中的矢量衍射理论,并以此为基础阐明多种微纳光学元件(如偏振元件)的设计理念。与理论设计相应的,课程中另一个重要方面是加工技术。如何根据需要选择合适的加工技术,是以质量为先还是需要考虑批量加工成本,这些问题也会在课程中讨论。此外,更重要的一点是,衍射和微纳元件的设计与加工技术往往是关联的,甚至是有所制约的。因此,我们会在课程中指明元件加工工艺以及设计方法之间的关系,并且在讲授相关内容的同时辅以VirtualLab Fusion在此方面的设计及建模方法,从而做到真正的学以致用,加速在微纳光学领域的领悟及开拓。 P\R#!+FgW8
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课程大纲: (+ibT;!]
1.波动光学基础 u+Q<>>lU
□ 双光束干涉及杨氏干涉 eAD uk!Iq
□ 相干及非相干光源的传播特性 EFNi# D8s
□ 衍射光学与傅里叶变换 V O=
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2.衍射元件概述 <|MF\D'
□ 衍射光学元件概念 cq,0?2R`t
□ 衍射光学元件优点 >MeM
□ 光束分束、整形、扩散 $06[D91'
□ 傅里叶变换 fyE#8h_>4
□ 角谱理论 1SGLA"r
□ 工作装置类型 oX
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3.衍射光学元件理念及设计 chF@',9t
□ 基本理念 |kXx9vGq@
□ 透镜和衍射光学元件的作用 hPB^|#}
□ 分束、整形和扩散的实质 t5Oeb<REz
□ 衍射光学元件的特征尺寸 b,Vg3BS
□ 衍射光学元件优化设计方法 k Z>Xl- LV
4.IFTA简介 y:R!E *.L'
□ 基本设计步骤 QwSYjR:K
□ 光学系统结构——1f、2f、Fresnel、Far-field、角谱 Z.DO 2=+=
□ 参数估算——周期和线宽的估算 M)JKe!0ad1
□ 光学系统分辨率——不同结构的分辨率 =
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□ 配置设计过程的优化评价函数 p2/Pj)2
5.衍射元件设计案例 Y 3 QrD&V
□ 衍射分束器参数选择 HDY2<Hzc
□ 衍射分束器设计流程:规则和任意形状 rV0X*[]J>
□ 衍射整形器参数选择 AYP*J
□ 衍射整形器设计流程:1D和2D平顶型 Adma~]T9
□ 衍射扩散器参数选择 Z=&cBv4Fs
□ 衍射扩散器设计流程:平顶型和任意图案 mhDC1lXF
6.光栅模拟分析 G (o9*m1
□ 构建stack %7y8a`}
□ 调整模拟参数——精度因子和衍射级次 5SNa~
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□ 近场分析、衍射效率分析、内部场分析 p9`!.~[
□ 2D光栅表面镀膜分析 ;qN;oSK
□ 3D表面具有减反结构的光栅分析 !\6<kQg#
□ 光栅单元阵列及透镜阵列的建模与分析 x[_SNX"
7.光栅概述 Lq6R_udp
□ 2D和3D光栅,亚波长光栅,及二元光学元件 ~]_U!r[FA
□ 标量衍射和傅里叶变换 # zbAA<f
□ 矢量衍射和傅里叶模态法 W Y]
□ 纳米光学元件的应用:抗反射、偏振控制、成像、传感等 $,)PO
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8.微纳光学元件制作 EIrAq!CA
□ 多阶器件加工 !JGe
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□ 连续器件加工 .;$Ub[
□ 传统套刻法 rd:WF(]
□ 激光直写法 F!_8?=|
□ 纳米光子器件制作概述 d^(7\lw|
□ 衍射光学元件公差分析 9>6DA^
9.答疑 @$aGVEcU$
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