时间地点:
/CpU.^V 主办单位:讯技光电科技(上海)有限公司;苏州黉论教育咨询有限公司
L;wfTZa 授课时间:2023年12月28日(四)-30日(六)共3天 AM 9:00-PM 16:00
{Q/XV= 授课地点:上海市嘉定区南翔银翔路819号中暨大厦18楼1805室
<IiX_* 课程讲师:讯技光电高级工程师
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`tX 课程费用:5000RMB(课程包含课程材料费、开票税金、午餐费用)课程概要:
]QB<N|ps 本课程从基本
衍射原理开始,逐步阐明光的衍射本质以及衍射
光学元件的工作原理。在基础衍射理论基础之上,进一步讨论衍射光学元件的设计方法。在传统衍射光学理论之上,再进一步讨论
微纳光学领域中的矢量衍射理论,并以此为基础阐明多种微纳光学元件(如偏振元件)的设计理念。与理论设计相应的,课程中另一个重要方面是加工技术。如何根据需要选择合适的加工技术,是以质量为先还是需要考虑批量加工成本,这些问题也会在课程中讨论。此外,更重要的一点是,衍射和微纳元件的设计与加工技术往往是关联的,甚至是有所制约的。因此,我们会在课程中指明元件加工工艺以及设计方法之间的关系,并且在讲授相关内容的同时辅以VirtualLab Fusion在此方面的设计及建模方法,从而做到真正的学以致用,加速在微纳光学领域的领悟及开拓。
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P!;%DI!<b 课程大纲:
KY1(yni&8[ 1.波动光学基础
nEtG(^N □ 双光束干涉及杨氏干涉
1M%'Xe7 □ 相干及非相干
光源的传播特性
p&Os5zw;| □ 衍射光学与傅里叶变换
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@G 2.衍射元件概述
XiP xg[; □ 衍射光学元件概念
zli@X Z# □ 衍射光学元件优点
};rxpw>ms □ 光束分束、整形、扩散
O26'|w@$ □ 傅里叶变换
:>@6\ □ 角谱理论
_;o)MTw|' □ 工作装置类型
0+a-l[!p 3.衍射光学元件理念及设计
Idy{(Q □ 基本理念
(k{rn3, □
透镜和衍射光学元件的作用
OxGS{zs □ 分束、整形和扩散的实质
iL^bf* □ 衍射光学元件的特征尺寸
qs96($ □ 衍射光学元件
优化设计方法
U"Gg
, 4.IFTA简介
= F!_ivV □ 基本设计步骤
\v7->Sy8 □
光学系统结构——1f、2f、Fresnel、Far-field、角谱
J$9`[^pV □
参数估算——周期和线宽的估算
c ilo8x` □ 光学系统分辨率——不同结构的分辨率
r8o9C □ 配置设计过程的优化评价函数
? {@UB* 5.衍射元件设计案例
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1Z □ 衍射分束器参数选择
RW4}n<
88 □ 衍射分束器设计流程:规则和任意形状
m :6. □ 衍射整形器参数选择
R)p+#F(s □ 衍射整形器设计流程:1D和2D平顶型
})I_@\q □ 衍射扩散器参数选择
,BUDo9h □ 衍射扩散器设计流程:平顶型和任意图案
9-Y.8:A` 6.光栅模拟分析
;IN!H@bq □ 构建stack
=5a|'O □ 调整模拟参数——精度因子和衍射级次
DEdJH4 □ 近场分析、衍射效率分析、内部场分析
3#=%2\ □ 2D光栅表面镀膜分析
lT`y=qR| □ 3D表面具有减反结构的光栅分析
|.OXe!uU41 □ 光栅单元阵列及透镜阵列的建模与分析
1@xmzTC 7.光栅概述
/S}4J" □ 2D和3D光栅,亚波长光栅,及二元光学元件
.3yoDab □ 标量衍射和傅里叶变换
B=4xZJPy □ 矢量衍射和傅里叶模态法
q<5AB{Oj? □
纳米光学元件的应用:抗反射、偏振控制、
成像、传感等
.ZV-]jgr 8.微纳光学元件制作
OKXELP □ 多阶器件加工
T^"-; □ 连续器件加工
Yy,i,c`r □ 传统套刻法
kOu C@~, □
激光直写法
%OI4}!z@l □ 纳米
光子器件制作概述
*,hg+?lZ □ 衍射光学元件公差分析
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/; 9.答疑
*wSz2o), 对此课程感兴趣的小伙伴,可以扫码加微咨询联系
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