时间地点: o *)>aw
主办单位:讯技光电科技(上海)有限公司;苏州黉论教育咨询有限公司 |l'BNuiU
授课时间:2023年12月28日(四)-30日(六)共3天 AM 9:00-PM 16:00 aMKi`EW
授课地点:上海市嘉定区南翔银翔路819号中暨大厦18楼1805室 %"B+;{y(5
课程讲师:讯技光电高级工程师 &o%IKB@
课程费用:5000RMB(课程包含课程材料费、开票税金、午餐费用)课程概要: HJWk%t<
本课程从基本衍射原理开始,逐步阐明光的衍射本质以及衍射光学元件的工作原理。在基础衍射理论基础之上,进一步讨论衍射光学元件的设计方法。在传统衍射光学理论之上,再进一步讨论微纳光学领域中的矢量衍射理论,并以此为基础阐明多种微纳光学元件(如偏振元件)的设计理念。与理论设计相应的,课程中另一个重要方面是加工技术。如何根据需要选择合适的加工技术,是以质量为先还是需要考虑批量加工成本,这些问题也会在课程中讨论。此外,更重要的一点是,衍射和微纳元件的设计与加工技术往往是关联的,甚至是有所制约的。因此,我们会在课程中指明元件加工工艺以及设计方法之间的关系,并且在讲授相关内容的同时辅以VirtualLab Fusion在此方面的设计及建模方法,从而做到真正的学以致用,加速在微纳光学领域的领悟及开拓。 5V5Nx(31i
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课程大纲: D]X&Va
1.波动光学基础 vncLB&@7
□ 双光束干涉及杨氏干涉 =kFZ2/P2t(
□ 相干及非相干光源的传播特性 NrA?^F
□ 衍射光学与傅里叶变换 V|[Y9<*
2.衍射元件概述 m%au* 0p
□ 衍射光学元件概念 :j feY
□ 衍射光学元件优点 K,_d/(T4
□ 光束分束、整形、扩散 }8tD|t[
□ 傅里叶变换 4UP#~
□ 角谱理论 U?BuV
□ 工作装置类型 jyB^a;-
3.衍射光学元件理念及设计 Cn+'!?!d,
□ 基本理念 0
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□ 透镜和衍射光学元件的作用 BN\Y
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□ 分束、整形和扩散的实质 _UU-
□ 衍射光学元件的特征尺寸 rUgTJx&ds
□ 衍射光学元件优化设计方法 t$+[(}@+
4.IFTA简介 )~@iM.}S2
□ 基本设计步骤 %*J'!PC9n
□ 光学系统结构——1f、2f、Fresnel、Far-field、角谱 wP:ab
□ 参数估算——周期和线宽的估算 l@C39VP
□ 光学系统分辨率——不同结构的分辨率 G_OLUuK?C
□ 配置设计过程的优化评价函数 -aj) _.d
5.衍射元件设计案例 cvSr><(
□ 衍射分束器参数选择 @ px4[
□ 衍射分束器设计流程:规则和任意形状 o m9zb&{tu
□ 衍射整形器参数选择 2x3%*r$
□ 衍射整形器设计流程:1D和2D平顶型 Z'/sZ3Q}
□ 衍射扩散器参数选择 +7%}SV 2)
□ 衍射扩散器设计流程:平顶型和任意图案 #>)OLKP
6.光栅模拟分析 |Iq#Q3w
□ 构建stack ;F3#AO4(
□ 调整模拟参数——精度因子和衍射级次 @o otKY`
□ 近场分析、衍射效率分析、内部场分析 s,~)5nL
□ 2D光栅表面镀膜分析 8":O\^i
□ 3D表面具有减反结构的光栅分析 iH&BhbRu_
□ 光栅单元阵列及透镜阵列的建模与分析 v>ygr8+C,
7.光栅概述 ~#
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□ 2D和3D光栅,亚波长光栅,及二元光学元件 slPLc
□ 标量衍射和傅里叶变换 w+MCOAB
□ 矢量衍射和傅里叶模态法 Dx:2/"v
□ 纳米光学元件的应用:抗反射、偏振控制、成像、传感等 Dq$co1eT
8.微纳光学元件制作 Fkq;Q
□ 多阶器件加工 4\Nt"#U)g
□ 连续器件加工 0xZX%2E
□ 传统套刻法 ? |}%A9
□ 激光直写法 8y$c\Eu(mF
□ 纳米光子器件制作概述 7|vB\[s
□ 衍射光学元件公差分析 )wFr%wNe
9.答疑 (bT3
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