时间地点： 68
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主办单位：讯技光电科技（上海）有限公司；苏州黉论教育咨询有限公司 vt@5Hb)
授课时间：2023年12月28日（四）-30日(六）共3天 AM 9:00-PM 16:00 S)T]> Ash
授课地点：上海市嘉定区南翔银翔路819号中暨大厦18楼1805室 '\8gY((7
课程讲师：讯技光电高级工程师 jnfktDV'
课程费用：5000RMB(课程包含课程材料费、开票税金、午餐费用)课程概要： ~u-DuOZ8
本课程从基本衍射原理开始，逐步阐明光的衍射本质以及衍射光学元件的工作原理。在基础衍射理论基础之上，进一步讨论衍射光学元件的设计方法。在传统衍射光学理论之上，再进一步讨论微纳光学领域中的矢量衍射理论，并以此为基础阐明多种微纳光学元件（如偏振元件）的设计理念。与理论设计相应的，课程中另一个重要方面是加工技术。如何根据需要选择合适的加工技术，是以质量为先还是需要考虑批量加工成本，这些问题也会在课程中讨论。此外，更重要的一点是，衍射和微纳元件的设计与加工技术往往是关联的，甚至是有所制约的。因此，我们会在课程中指明元件加工工艺以及设计方法之间的关系，并且在讲授相关内容的同时辅以VirtualLab Fusion在此方面的设计及建模方法，从而做到真正的学以致用，加速在微纳光学领域的领悟及开拓。 x% Ph``XI
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课程大纲： w& yK*nBK
1.波动光学基础 fgrflW$
□ 双光束干涉及杨氏干涉 6)i4&
□ 相干及非相干光源的传播特性 P_S^)Yo
□ 衍射光学与傅里叶变换 .)L%ANf
2.衍射元件概述 "mlVs/nsyG
□ 衍射光学元件概念 &)[?D<
□ 衍射光学元件优点 I E7%u 92
□ 光束分束、整形、扩散 {;u Oc{~+
□ 傅里叶变换 G`H4#@]
□ 角谱理论 +XV7W =
□ 工作装置类型 coa+@g,w7#
3.衍射光学元件理念及设计 lrq u%:q
□ 基本理念 84g$V}mp
□ 透镜和衍射光学元件的作用 a6\0XVU
□ 分束、整形和扩散的实质 ctI =|K
□ 衍射光学元件的特征尺寸 O# n<`;W
□ 衍射光学元件优化设计方法 jeb ]3i=pw
4.IFTA简介 3@#WY vD
□ 基本设计步骤 {k
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□ 光学系统结构——1f、2f、Fresnel、Far-field、角谱 D6X0(pU0
□ 参数估算——周期和线宽的估算 F/gA[Y|,gI
□ 光学系统分辨率——不同结构的分辨率 = BcKWC
□ 配置设计过程的优化评价函数 n~ w.\939@
5.衍射元件设计案例 t}FwS6u
□ 衍射分束器参数选择 UnTnc6Bo7W
□ 衍射分束器设计流程：规则和任意形状 u!4i+7}
□ 衍射整形器参数选择 yN- o?[o
□ 衍射整形器设计流程：1D和2D平顶型
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□ 衍射扩散器参数选择 P){b"`f
□ 衍射扩散器设计流程：平顶型和任意图案 D,R"P }G
6.光栅模拟分析 l9Xz,H
□ 构建stack R( 2,1f=d
□ 调整模拟参数——精度因子和衍射级次 vndD#/lXq
□ 近场分析、衍射效率分析、内部场分析 ;iA6[uz
□ 2D光栅表面镀膜分析 3|++2Z{},
□ 3D表面具有减反结构的光栅分析 KZ eaM
□ 光栅单元阵列及透镜阵列的建模与分析 vs=8x\W
7.光栅概述 ~ 9Xs=S!
□ 2D和3D光栅,亚波长光栅,及二元光学元件 w3hG\2)[HS
□ 标量衍射和傅里叶变换 3m;*gOLk6
□ 矢量衍射和傅里叶模态法 3[_zz;Y*d
□ 纳米光学元件的应用：抗反射、偏振控制、成像、传感等 o2'^MxKb T
8.微纳光学元件制作 w?eJVi@w{
□ 多阶器件加工 O+f'Ql
□ 连续器件加工 79HKfG2+KB
□ 传统套刻法 6KH&-ffd
□ 激光直写法 AFM Ip^F
□ 纳米光子器件制作概述 oItEGJ|
□ 衍射光学元件公差分析 C!,|Wi2&
9.答疑 qoZUX3{
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