pVY4q0@ 内容简介
]/a
g*F Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了
软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前
薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的
光学薄膜设计技术》。
'bl%Y).9w 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。
_OLI%o 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。
JfSdUWxT I-TlrW=t 讯技科技股份有限公司
FQ1arUOFW, 2015年9月3日
Ll?g.z" 目录
@bE~@4mOu Preface 1
$ND90my 内容简介 2
p x0Sy| 目录 i
@FU~1u3d 1 引言 1
9]Lo 2 光学薄膜基础 2
0juDuE? 2.1 一般规则 2
]?M)NRk%S 2.2 正交入射规则 3
kwOeHdV^ 2.3 斜入射规则 6
A=0@UqM 2.4 精确计算 7
1b8c67j[ 2.5 相干性 8
,b4g.CV 2.6 参考文献 10
;KL9oV!<f 3 Essential Macleod的快速预览 10
!M,h79NM 4 Essential Macleod的特点 32
xvdY
8%S 4.1 容量和局限性 33
D@:"f?K> 4.2 程序在哪里? 33
G8noQ_- 4.3 数据文件 35
l!/!?^8|f 4.4 设计规则 35
S{-f$Q* 4.5 材料数据库和
资料库 37
8nodV 9 4.5.1材料损失 38
>2u y 4.5.1材料数据库和导入材料 39
>J>>\Y(p 4.5.2 材料库 41
oCbpK 4.5.3导出材料数据 43
O<>#>[ 4.6 常用单位 43
g1ytT%] 4.7 插值和外推法 46
vcwK6G 4.8 材料数据的平滑 50
$M39 #a 4.9 更多光学常数模型 54
*Er? C; 4.10 文档的一般编辑规则 55
rtus`A5p 4.11 撤销和重做 56
_=?2 3 4.12 设计文档 57
W~<m[#:6C 4.10.1 公式 58
v~f'K3fLp 4.10.2 更多关于膜层厚度 59
#3.\j"b 4.10.3 沉积密度 59
>IBTBh_ka 4.10.4 平行和楔形介质 60
Ww=O=c5uOu 4.10.5 渐变折射率和散射层 60
>gnF]< 4.10.4 性能 61
#cO+ <1 4.10.5 保存设计和性能 64
3T?f5+@I 4.10.6 默认设计 64
j3{HkcjJG 4.11 图表 64
)d:K:YXt 4.11.1 合并曲线图 67
KxX[S.C 4.11.2 自适应绘制 68
5a6VMqQ6 4.11.3 动态绘图 68
Y<aO 4.11.4 3D绘图 69
gJK KR]4* 4.12 导入和导出 73
^&-a/'D$, 4.12.1 剪贴板 73
TW2Z=ks= 4.12.2 不通过剪贴板导入 76
DRp&IP< 4.12.3 不通过剪贴板导出 76
7=vYO|a/4 4.13 背景 77
hF.6}28U1 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80
r^Y~mq 4.15 生成Rugate 84
$o"g73`3 4.16 参考文献 91
JtFiFaCxY 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92
~$Y|ca 5.1 Jobs 92
ewym1}o 5.2 创建一个新Job(工作) 93
Za0gs @$ 5.3 输入材料 94
~#q;bS 5.4 设计数据文件夹 95
&wb9_?ir- 5.5 默认设计 95
vtZ?X';wh 6 细化和合成 97
Y1WHy*s? 6.1 优化介绍 97
aHC%19UN 6.2 细化 (Refinement) 98
rH.gF43O: 6.3 合成 (Synthesis) 100
!*_K.1' 6.4 目标和评价函数 101
<6R"h-u" 6.4.1 目标输入 102
ami09JHy 6.4.2 目标 103
Z7KXWu+6`m 6.4.3 特殊的评价函数 104
T/NjNEd# 6.5 层锁定和连接 104
l2s{~ IC 6.6 细化技术 104
`s%QeAde 6.6.1 单纯形 105
&XtRLtgS 6.6.1.1 单纯形
参数 106
x W\,KSK 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107
;_N"Fdl 6.6.2.1 Optimac参数 108
NpR6 6.6.3 模拟退火算法 109
]-a{IWVN 6.6.3.1
模拟退火参数 109
E(;i> 6.6.4 共轭梯度 111
Ye@t_,)x 6.6.4.1 共轭梯度参数 111
A0>x9 XSkJ 6.6.5 拟牛顿法 112
}[v~& 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112
`iQqhx 6.6.6 针合成 113
SM<d 6.6.6.1 针合成参数 114
: u-.T.zZl 6.6.7 差分进化 114
B2(,~^39 6.6.8非局部细化 115
sf)W~Lx5a 6.6.8.1非局部细化参数 115
"H?QqrKx 6.7 我应该使用哪种技术? 116
(u9Zk~)F 6.7.1 细化 116
a_{6Qdl 6.7.2 合成 117
:,^>d3k 6.8 参考文献 117
N~| t!G*9 7 导纳图及其他工具 118
\8>oJR 6 7.1 简介 118
;UpJ=?W 7.2 薄膜作为导纳的变换 118
HY*\ k# 7.2.1 四分之一
波长规则 119
<xqba4O 7.2.2 导纳图 120
5(#-)rlGj 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124
7wi%j! 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125
"Yby 7.5 斜入射导纳图 141
8(Fu 7.6 对称周期 141
,E9d\+j 7.7 参考文献 142
)*D'csGc 8 典型的镀膜实例 143
+ Kk@Q 8.1 单层抗反射薄膜 145
?ZX!7^7 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146
F~R7~ZE 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147
GO~k ' 8.4 W-膜层 148
y<*-tZV[ 8.5 V-膜层 149
wDw<KU1UK 8.6 V-膜层高折射基底 150
tN2 W8d 8.7 V-膜层高折射率基底b 151
(3W&AM 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152
|[LE9Lq/ 8.9 四层抗反射薄膜 153
8[R1A 8.10 Reichert抗反射薄膜 154
Q.ukY@L.' 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155
FUqt)YHi 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156
0H+c4IW 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157
SH=:p^J 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158
sUciFAb 8.15十五层宽带抗反射膜 159
(}jL_E 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161
RUX8qT(Z 8.17 1/4波长堆栈 162
}"4roJ 8.18 陷波滤波器 163
P^zy; Qs7 8.19 厚度调制陷波滤波器 164
{:)vwUe{ 8.20 褶皱 165
rJV?)=Z 8.21 消偏振分光器1 169
8K^f:)Qw 8.22 消偏振分光器2 171
!FP"M+ 8.23 消偏振立体分光器 172
u>o<tw%Y 8.24 消偏振截止滤光片 173
n1 v,#GE 8.25 立体偏振分束器1 174
afUTAP@ 8.26 立方偏振分束器2 177
Rcf=J){D6 8.27 相位延迟器 178
&I)\*Ue2t 8.28 红外截止器 179
Nb1J ~v 8.29 21层长波带通滤波器 180
HfZtL 8.30 49层长波带通滤波器 181
Abf1"#YImy 8.31 55层短波带通滤波器 182
j+Zt.KXjT 8.32 47 红外截止器 183
9wMEvX70 8.33 宽带通滤波器 184
OZT^\Ky_l 8.34 诱导透射滤波器 186
Sn ^Aud 8.35 诱导透射滤波器2 188
"K
?#,_ 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190
5~U:@Tp 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192
y||@?Y 8.35 增益平坦滤波器 193
?4sJw: 8.38 啁啾反射镜 1 196
ohsH 2]C 8.39 啁啾反射镜2 198
w_3xKnMT\ 8.40 啁啾反射镜3 199
<jFSj=cIL 8.41 带保护层的铝膜层 200
?Pnx~m{%* 8.42 增加铝反射率膜 201
D$hQyhz' 8.43 参考文献 202
~6sE an3p 9 多层膜 204
:~33U)?{T 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204
m}pL`:e! 9.2 内部透过率 204
Mj'lASI 9.3 内部透射率数据 205
Qc3?}os2 9.4 实例 206
XHQh4W3 9.5 实例2 210
{MxnIg7' 9.6 圆锥和带宽计算 212
Bk@WW#b 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214
+V1}@6k
: 10 光学薄膜的颜色 216
k/bque 10.1 导言 216
ymkR! 10.2 色彩 216
I.9o`Q[8& 10.3 主波长和纯度 220
$}4K`Iu 10.4 色相和纯度 221
`j:M)2:*y 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222
ph#efY`a: 10.6 色差 226
~d>uXrb 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227
;dOs0/UM& 10.8 颜色渲染指数 234
>2Ca5C 10.9 色差计算 235
1LyT7h 10.10 参考文献 236
:d({dF_k;p 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238
IfB/O.;Kz 11.1 短脉冲 238
eE9|F/-L 11.2 群速度 239
^W}MM8
' 11.3 群速度色散 241
9gR.RwR X 11.4 啁啾(chirped) 245
/x/4NeD 11.5 光学薄膜—相变 245
B@-"1m~la? 11.6 群延迟和延迟色散 246
K7Gm-=% 11.7 色度色散 246
P}l#VJWp 11.8 色散补偿 249
"uhV|Lk*7 11.9 空间
光线偏移 256
avBu a6i' 11.10 参考文献 258
M5 `m.n< 12 公差与误差 260
H|K("AVP: 12.1 蒙特卡罗模型 260
+;6) 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267
QP V@'.2m 12.2.1 误差工具 267
KGQC't 12.2.2 灵敏度工具 271
Gh=<0WaF= 12.2.2.1 独立灵敏度 271
EZ{/]gCK 12.2.2.2 灵敏度分布 275
HT&p{7kFm 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276
[-]A^?yBM 12.3 参考文献 276
N33AcV!*8 13 Runsheet 与Simulator 277
V Y_f = 13.1 原理介绍 277
~$ *`cO 13.2 截止滤光片设计 277
V4EM5 Z\k 14 光学常数提取 289
O8[k_0@ 14.1 介绍 289
[
t$AavU. 14.2 电介质薄膜 289
/.2 qWQH 14.3 n 和k 的提取工具 295
"qgu$N4/> 14.4 基底的参数提取 302
/yp/9r@T0 14.5 金属的参数提取 306
/sV?JV[t 14.6 不正确的模型 306
0#
l#,Y6#I 14.7 参考文献 311
9M]^l, 15 反演工程 313
T g{UK 15.1 随机性和
系统性 313
W]@6=OpH 15.2 常见的系统性问题 314
u>m'FECXj 15.3 单层膜 314
Vpw[B.v 15.4 多层膜 314
on_H6Y@B52 15.5 含义 319
T*R{L 15.6 反演工程实例 319
44j,,k 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320
,m3":{G:t. 15.6.2 反演工程提取折射率 327
o~k;D{Snr 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329
;b| 16.1 光学性质的热致偏移 329
Fn> <q: 16.2 应力工具 335
.8x@IWJD 16.3 均匀性误差 339
]K*GSU 16.3.1 圆锥工具 339
BtID;^Dz 16.3.2 波前问题 341
c(CJ{>F% 16.4 参考文献 343
EZ `}*Yrd 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345
DiR'p`b~ 17.1 引言 345
~M; gM]r; 17.2 操作数 345
N"K\ick6J 18 如何在Function中编写脚本 351
q^%5HeV 2 18.1 简介 351
>HX)MwAP 18.2 什么是脚本? 351
La]4/=a 18.3 Function中脚本和操作数对比 351
%:%MUdl6 18.4 基础 352
Qi"'bWX@ 18.4.1 Classes(类别) 352
CZ2iJy 18.4.2 对象 352
d9|T=R 18.4.3 信息(Messages) 352
G\):2Qz!| 18.4.4 属性 352
s6IP;} 18.4.5 方法 353
Ym`1<2mq\ 18.4.6 变量声明 353
@f%wd2 18.5 创建对象 354
rXuAixu!t 18.5.1 创建对象函数 355
jQkUNPHu 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355
'(XW$D 18.5.3 丢弃对象 356
*.xZfi_| 18.5.4 总结 356
"&}mAWT%If 18.6 脚本中的表格 357
9GaL0OWo 18.6.1 方法1 357
t+J)dr 18.6.2 方法2 357
`[&v 18.7 2D Plots in Scripts 358
RRNH0-D1l 18.8 3D Plots in Scripts 359
@EYK(QS- 18.9 注释 360
tbY SK 18.10 脚本管理器调用Scripts 360
{)@ j77P 18.11 一个更高级的脚本 362
4V1|jy3 18.12 <esc>键 364
F46O!xb% 18.13 包含文件 365
AsD1-$ 18.14 脚本被
优化调用 366
{aT92-D3 18.15 脚本中的对话框 368
O8iu+}]/6 18.15.1 介绍 368
?f9$OLEB 18.15.2 消息框-MsgBox 368
y6bjJ} 18.15.3 输入框函数 370
}\U0[x#q 18.15.4 自定义对话框 371
#c:9V2 18.15.5 对话框编辑器 371
|fx#KNPf] 18.15.6 控制对话框 377
wqf& i^_ 18.15.7 更高级的对话框 380
ynx WQ%d(` 18.16 Types语句 384
%@o&*pF^, 18.17 打开文件 385
aK!xRnY 18.18 Bags 387
[rc'/@L 18.13 进一步研究 388
FDl,Ey^r/ 19 vStack 389
xTGP 19.1 vStack基本原理 389
'H|;%J6d> 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391
3b,= 19.3 五棱镜 393
K7+^Yv\YQx 19.4 光束距离 396
8Er[M 19.5 误差 399
6NU8HJp 19.6 二向分色棱镜 399
<
rv1IJ 19.7 偏振泄漏 404
7L1\1E:! 19.8 波前误差—相位 405
E*h0#m|) 19.9 其它计算参数 405
Y7*'QKz2 20 报表生成器 406
t]gq+ c Lo 20.1 入门 406
4{g:^?1= 20.2 指令(Instructions) 406
C5BzWgK 20.3 页面布局指令 406
Feh"!k <6k 20.4 常见的参数图和三维图 407
"^18&>^ 20.5 表格中的常见参数 408
fp,1qzU[k 20.6 迭代指令 408
gD,A9a(3 20.7 报表模版 408
9UB??049z 20.8 开始设计一个报表模版 409
$>nkGb%Kp 21 一个新的project 413
M^Q&A R'F 21.1 创建一个新Job 414
[8xeQKp4 21.2 默认设计 415
nl.~^CP 21.3 薄膜设计 416
zsHG=Ee* 21.4 误差的灵敏度计算 420
Hf!9`R[ 21.5 显色指数计算 422
2Zv,K- G 21.6 电场分布 424
zojuH8 后记 426
yp( ?1 有兴趣可以扫码加微咨询
/QV [N